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基于RGO-PEO复合薄膜的QCM湿度传感器研究.pdf
第36 卷 第5 期 电 子 元 件 与 材 料 Vol.36 No.5
20 17 年5 月 ELECTRONIC COMPONENTS AND MATERIALS May 20 17
研 究 与 试 制
基于RGO-PEO 复合薄膜的QCM 湿度传感器研究
王 斯，苏元捷，谢光忠，太惠玲，蒋亚东
（电子科技大学 光电信息学院，电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川 成都 610054 ）
摘要: 通过气喷工艺在石英晶体微天平 （QCM）上制备了基于还原氧化石墨烯 （RGO）与聚氧化乙烯 （PEO ）
两种材料的复合湿敏薄膜，对环境湿度进行检测。所得纯PEO 薄膜及RGO-PEO 复合薄膜的表面形貌以及化学特
性分别通过扫描电子显微镜 （SEM）以及紫外-可见光谱进行表征。与基于纯PEO 薄膜的湿度传感器相比，基于
RGO-PEO 复合湿敏薄膜的湿度传感器的动态响应大大提高，其灵敏度从16.3Hz/%RH 提升到34.7Hz/%RH。此外，
基于复合薄膜的湿度传感器拥有更快的响应/恢复时间，达到传感器吸附/脱附时总频移的63.2%所用时间分别为3
s 和4 s，而纯PEO 薄膜为10 s 和12 s；湿滞为1.21%RH，且有较好的长期稳定性。这项研究揭示了基于RGO-PEO
复合薄膜的QCM 湿度传感器在常温下检测环境湿度的发展潜力。
关键词: 聚氧化乙烯(PEO) ；还原氧化石墨烯(RGO) ；湿度传感器；石英晶体微天平(QCM) ；复合薄膜；湿滞
doi: 10.14106/ki.1001-2028.2017.05.014
中图分类号: TP212 文献标识码:A 文章编号:1001-2028 （20 17）05-0067-05
Research of QCM humidity sensor based on reduced graphene
oxide-polyethylene oxide composite films
WANG Si, SU Yuanjie, XIE Guangzhong, TAI Huiling, JIANG Yadong
(State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, School of Optoelectronic Information, University
of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China)
Abstract : A reduced graphene oxide (RGO)-polyethylene oxide (PEO) composite film was constructed on quartz
crystal microbalance (QCM) by air spraying with composite and bilayer film structures for ambient humidity detection.
The morphology and chemical properties of the fabricate
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