扫描电子显微镜.docVIP

扫描电子显微镜实验 实验原理： 1.SEM原理：扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、晶格振动 （声子）、电子振荡 （等离子体）。以类似电视摄影显像的方式，利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像。 2.机构组成：电子光学系统、信号的收集和图像显示系统、真空系统。 3.功能介绍：利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息；对x射线的采集，可得到物质化学成分的信息。根据不同需求，可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。 4.主要性能： (1)分辨率 扫描电镜的分辨率是通过测定图象中两个颗粒（或区域）间的最小距离来确定。测定的方法是在已知放大倍数（一般在10万倍）的条件下，把在图像上测到的最小间距除以放大倍数所得数值就是分辨率。 扫描电镜的分辨本领主要与下面几个因素有关: a.射电子束束斑直径； b.束束斑直径是扫描电镜分辨本领的极限