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多晶硅表面制绒技术研究现状 周兆忠等 ５５
多晶硅表面制绒技术研究现状＊
１ ２ １
， ，
周兆忠 吴 喆 冯凯萍
（ ， ； ， ）
１ 衢州学院机械工程学院 衢州 ３２４０００２ 合肥工业大学宣城校区机械工程系 宣城 ２４２０００
， 。
摘要 光伏产业在新能源发展规划中占有重要地位 目前多晶硅太阳能电池已经成为太阳能电池市场主流
， 。
硅片表面绒面的质量对太阳能电池转换效率有重要影响 多晶硅表面制绒技术也越来越受到世界各国的重视 掌握
。 ，
多晶硅表面制绒技术的原理及特点对提高表面绒面质量十分重要 首先分析多晶硅表面制绒的技术要求 随后根据
， 、 ，
不同的技术原理 依次对干法制绒技术 湿法制绒技术以及掩膜制绒技术进行综述 详细分析不同制绒技术的技术特
， 、 、 ，
点并阐述其应用实例 随后从绒面质量 制绒效率 成本以及环保性等方面对多晶硅制绒技术进行评述 最后对多晶
硅制绒技术的发展趋势进行预测。
关键词 太阳能电池 多晶硅 表面制绒
中图分类号： 文献标识码： ： ／
ＴＢ３０５ Ａ ＤＯＩ １０．１１８９６ ．ｉｓｓｎ．１００５ ０２３Ｘ．２０１５．０９．００８
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Ａ ＲｅｖｉｅｗｏｎＳｕｒｆａｃｅＴｅｘｔｕｒｉｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏ ｆｏｒＭｕｌｔｉｃｒ ｓｔａｌｌｉｎｅＳｉｌｉｃｏｎ
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