GB/T 25755-2010真空技术　溅射离子泵　性能参数的测量.pdf

ICS23.160 J78 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT25755 2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量 — — Vacuumtechnolo Sutter-ion um s Measurementoferformance gy p p p p characteristics 2010-12-23发布 2011-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT25755 2010 前 言 本标准由中国机械工业联合会提出。 ( / ) 。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会 SACTC18归口 : 、 。 本标准起草单位 北京中科科仪技术发展有限责任公司 沈阳真空技术研究所 : 、 、 、 、 。 本标准主要起草人 邹蒙 张勤德 朱国精 马殿理 李春影 Ⅰ / — GBT25755 2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量 1 范围 ( ) 。 本标准规定了溅射离子泵 以下简称离子泵 性能参数的测量方法 本标准适用于名义体积流率大于 / 的离子泵。 10Ls -3 -7 本标准测量体积流率的压力范围从 到 。 1.5×10 Pa 1×10 Pa : 。 注 本标准保证了离子泵性能参数的测量在相同的条件下按相同的方法进行 由此做到由各制造厂家或各实验室 所作的测量与制造厂家在样本中给定的资料是可比的。 2 规范性引用文件