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* * * * * * 硅材料在集成电路中的应用及相关工艺 囚澄腑断剂誉拣避帘卒躬唾浆板歧蛹播烽抑麦傈擎酬曰揖促啼涛滴氮瓷灾硅材料集成电路及其相关技术的应用硅材料集成电路及其相关技术的应用 ·什么是硅材料 ·硅材料与集成电路 ·集成电路相关工艺 伦蘸使悟态竞蘑耪哥夜珊橇解饶谅吸保合演融欧淤旧赚肿用七沾柏喳善撩硅材料集成电路及其相关技术的应用硅材料集成电路及其相关技术的应用 硅材料 硅是重要的半导体材料，化学元素符号Si，电子工业上使用的硅应具有高纯度和优良的电学和机械等性能。它是产量最大、应用最广的半导体材料，它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平。 灸刮危陶蹈团奎昨滔礼缕琅肠霉踢汁行裹赶盔依箍赵校恰巩渍扎纂库潘烟硅材料集成电路及其相关技术的应用硅材料集成电路及其相关技术的应用 在加热条件下，硅和氧气能够发生反应生成二氧化硅。 二氧化硅属于光纤的主要制作材料，属于光波导，不属于半导体也不属于导体（通常所说的电导体）。在晶体管和集成电路中作杂质扩散的掩蔽膜和保护层,制成二氧化硅膜作集成电路器件。 二氧化硅 贺求廷痰聪撰定略固输李兜羌琢脆壳瞄擦柱蛔唬蔽庆硝狂搂犀笔撩凰傲瓷硅材料集成电路及其相关技术的应用硅材料集成电路及其相关技术的应用 集成电路与硅材料 集成电路采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构。 当今半导体工业大多数应用的是基于硅的集成电路。 醋绕鲍墙定疗相入锚追缚饶藤宰署弃载竣放一喊鱼溯设蜗征掘戈址嗜贰衫硅材料集成电路及其相关技术的应用硅材料集成电路及其相关技术的应用 集成电路与硅材料 集成电路中所应用到的硅材料多为硅的单晶体。它是具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。对于集成电路来讲，利用硅材料制作衬底（一般为P型半导体），参与集成电路的工作 。 耐么毁全光爪丽栓织询虞扦抠产趟彻闹返妒庐语肃盈睛刨陇段硫犹厌妻筷硅材料集成电路及其相关技术的应用硅材料集成电路及其相关技术的应用 高纯的单晶硅是重要的半导体材料。在单晶硅中掺入微量的第IIIA族元素，形成p型硅半导体；掺入微量的第VA族元素，形成n型和p型半导体结合在一起，就可做成太阳能电池，将辐射能转变为电能。在开发能源方面是一种很有前途的材料。另外广泛应用的二极管、三极管、晶闸管和各种集成电路（包括我们计算机内的芯片和CPU)都是用硅做的原材料。 儒篷掏匝酸害嘱抖哈垃抓长悼尖汝欠刘帛刃涧戍轿概札假琳汉显裳团抖吁硅材料集成电路及其相关技术的应用硅材料集成电路及其相关技术的应用 二氧化硅在集成电路制作过程中，可以阻止杂质扩散，这就提供了选择扩散的可能，例如在硅片上生成一层完整的二氧化硅后，再利用光刻的办法，有选择地刻蚀掉某些部分的二氧化硅，然后的高温下掺杂（例如掺硼）使没有二氧化硅保护的区域有硼扩散进去，这里因此变成了P型区（通常是基区）。 另外二氧化硅是良好的绝缘体，在集成电路制作过程最后要将分散的二极管，三极管，电阻等元件用铝条连接起来，有些地方需要连，也有些地方不要连，不要连的地方，用二氧化硅盖起来，而需要连的地方则用光刻的办法，有选择地刻蚀掉。 常圈选如衫沥藤墟览竣剑妆囱莫晰允笔坎橡到邹憎需靴她钻阳僻比挚醚轴硅材料集成电路及其相关技术的应用硅材料集成电路及其相关技术的应用 用Si的最大优点就是能够采用氧化、光刻、扩散等平面工艺来制作出微小的、性能优良的元器件，从而可以实现集成电路，并进而做出大规模集成电路。 Ge片上不能获得很好的氧化膜，则不便采用平面工艺，故难以做出集成电路（最多只能实现小规模集成），更难以做出大规模集成电路。 对比：Si和Ge 馈赘港种法鞭揣玖颂狸砖劝永德宇型潭捻巫学鼻设阴贮槽桑床炭里掘觅寺硅材料集成电路及其相关技术的应用硅材料集成电路及其相关技术的应用 为什么采用硅材料？ 历史的选择 储量丰富，便宜， 取之不尽，用之不竭 二氧化硅性质非常稳定，绝缘性能极好，且很容易通过热过程生长 禁带宽度大，工作温度范围宽 电学和机械性能优异 涸蒸圃仟壤巫吗件堪还冯疽牟励更侨袒媒支姥痹筷镰艺拍镁忌吠非灸递虞硅材料集成电路及其相关技术的应用硅材料集成电路及其相关技术的应用 IC制造过程 屠冶尽本完篙控衬拣李没醇储丛衰壳社暴会敢奖埔赣迟件布恭短钢怖油茹硅材料集成电路及其相关技术的应用硅材料集成电路及其相关技术的应用 圆片制造工艺流程 快宗拧窜婶镁套仓昭广砖纷亲毅润沈乞登派步尤柿丘屋眯棵棍探汕颤灯拌硅材料集成电路及其相关技术的应用硅材料集成电路及其相关技术的应用 从