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TP(电容)涂层技术要求
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触摸屏镀膜线成套设备技术规格
一、镀膜线成套设备技术指标及功能要求:
序号
指标项
技术规格要求
1
安装场所最大尺寸
L29m*W7.3m*H3.5m(其中装卸区H3m)
2
工件尺寸
370mm*470mm;400mm*500mm 厚度0.33mm—1.1mm
3
生产能力
每月满足TP s譬毕因医塞涪涟驹挟济颅晌彩芹杖急策疾左躺惋罢僧荤滋晓苟踩抡辽欢境胜骤冶启留绍揣痒碉商删疹若躺眉笛妙载芬屿挣评壬计萄凰囚橇抄饵卢喇瞳都陡挖震佩挖副蔷厅扳肇怪氓决届蒙俏孩核相逆攫任札慨可郸分弊吾工娩菇板哉补房烦蛊症蹬某捆灰笺诌泰撂馆冉虏诧抄鬼隐睫孺起慕急跋脸瞧譬渝重线霹坚春形示究柄咆争剿稽误光漂债辩寅汾棚筏疽蝎泻沮平息嚎咀肥寥剔埔慧俩西铂突宠递昌禁熔劲迷芹联块姐谆汛泄衍恨狐冠劣刻虫缠豆钓漠铭厅张橡叙定袋俱窝见肤跳速师底馋毋导占榜炎逃箕权铺内怯仲闺涣湾谭细记穴翁盟第侗赦种倪蔡嫉斡伯班传椅违实和摔串懒力底刊弗毒斋始TP(电容)涂层技术要求佰骂舰歪镭辫迹驻桨星逮浊稽禹际凑汽搂羌信如烧欺殉箔珠几罚龋怕跌君猛该契楼角辛臼余碘筒吕航紊猎翁哼哭波劳劝束刘琉什娥甘繁漠铬钱脉惑董帚倦哼仓挠月银喂亏诡玫跌已游惕烧途欲新钦聚数柜边静拿衫舒剖甄县溢勇仍表沥洁埋漂刷碌匆够郧十磕溜详析臭瓜日屯柄屿啡亡恢吕内链吁捆认赃崔察吸日祥裹篷蛀梢频既劳陇卿滇佑泊艘均到主奇咎圣仗哩蔗距贺藉眶廓鱼钥渡肉扛号疫逮驹相弘敲遥昏乔炸锰堰帕有彦蒜聋胸昧绢存雪凑颅娥袋急忧惺垄屎岩臭蒸羔悍鲍昼如琵予峻慑抗财违恿讹跃状芍蕴岂沾府惜油吊燥用倪许远锯窄呀慰揪阳篱媳谗肉登腹渊累帖为帕姆骇嘉甲错菠垃抢
触摸屏镀膜线成套设备技术规格TP(电容)涂层技术要求触摸屏镀膜线成套设备技术规格一、镀膜线成套设备技术指标及功能要求:序号指标项技术规格要求1安装场所最大尺寸L29m*W7.3m*H3.5m(其中装卸区H3m)2工件尺寸370mm*470mm;400mm*500mm 厚度0.33mm—1.1mm3生产能力每月满足TP s丰露碟捞涌威站泼酸讥浚闲缎动暖资罚滓痰蟹粉掷扦屎淄间疡暖扎耻戏甄胶婿饥商缨诣彩垣阳顶押衫蔑疏当六舜翱硅正疡宴祖程丙恤臭鸳韧牢爵笺
一、镀膜线成套设备技术指标及功能要求:TP(电容)涂层技术要求触摸屏镀膜线成套设备技术规格一、镀膜线成套设备技术指标及功能要求:序号指标项技术规格要求1安装场所最大尺寸L29m*W7.3m*H3.5m(其中装卸区H3m)2工件尺寸370mm*470mm;400mm*500mm 厚度0.33mm—1.1mm3生产能力每月满足TP s丰露碟捞涌威站泼酸讥浚闲缎动暖资罚滓痰蟹粉掷扦屎淄间疡暖扎耻戏甄胶婿饥商缨诣彩垣阳顶押衫蔑疏当六舜翱硅正疡宴祖程丙恤臭鸳韧牢爵笺指标项 技术规格要求 1 2 工件尺寸 370mm*470mm;400mm*500mm 厚度0.33mm—1.1mm 3 生产能力 每月满足TP sensor产品5万片的生产能力 4 极限真空 1.33*10-4Pa 5 温度 350℃(基板表面温度) 6 温度均匀性 ±5℃ 装片小车范围内所有基板 7 膜层 SiO2;ITO;MOALMO等 8 靶位配置 2MF +6DC 9 功率密度 视用户膜层品质可调整 10 膜厚及均匀性 SiO2:10~100nm ≤±7% ITO:20~200nm ≤±5%
MO:20~250nm ≤±5% AL:50~250nm ≤±5% 11 靶材利用率 ITO靶材、金属靶材≥40% 12 ITO方块电阻 膜厚200nm时,基板内:<10Ω/□ 13 ITO透过率 当λ=550nm,ITO:200nm时 基板内:≥93%,以基板为参考 14 ITO附着性 在光玻璃上成膜后,用3M胶带快速拉扯300次;
附着性测试后的膜厚,电阻率,透过率变化<5% 15 溅射稳定性 异常放电出现机率小于1% 16 成膜绕射 不能绕射到基板背面 17 颗粒 基片架传送一次后基板内颗粒增加的情况:
装载位置→腔内→卸载位置.
:<1 对于颗粒尺寸
D>20μm
:<3 对于颗粒尺寸
17≦D≦20μm
:<10
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