微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势 - 强激光与粒子束.pdfVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 29 8 Vol.29 No.8 年 月 , 2017 8 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Au. 2017 g 微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势* , 13 2 2 3 高 杨 , 雷 强 , 赵俊武 , 吕军光 ( , ; 1.中国工程物理研究院 电子工程研究所 四川 绵阳 621999 , ; 2.西南科技大学 信息工程学院 四川 绵阳 621010 , ) 3.中国科学院 高能物理研究所 核探测与核电子学国家重点实验室 北京 100049 : ( ) 摘 要 微机械谐振式加速度计 是通过检测加速度施加前后谐振器谐振频率变化实现对加速 MMRA 。 、 、 、 , 度检测的 该传感器具有频率信号输出 稳定性好 灵敏度高 精度高等优点 己成为 MEMS传感器的重要发 。 , 、 。 , 展方向之一 详细讨论了微机械谐振式加速度计设计中的关键技术 难点及对应解决方案 发展趋势 其中 、 。 关键技术包括机械结构 激励与检测方式以及谐振器刚度改变方式 分析了谐振器的三种机械结构以及微杠 ; , , 杆工艺误差造成的不对称性 根据谐振器材料的压电特性 可将 MMRA分为压电MMRA和非压电MMRA / , / ; 压电MMRA的激励与检测方式都是压电激励 压电检测 非压电MMRA主要为静电激励 电容检测 讨论了 。 轴向应力和静电刚度这两种谐振器刚度改变方式的原理和适用范围 微机械谐振式加速度计主要存在四个技 : 、 、 、 , 。 , , 术难点 机械耦合 温度特性 工艺误差 组装与封装 并针对这四点给出了相应的解决方案 集成 静电刚度 , 。 新材料 多轴以及更高的性能指标将是今后微机械谐振式加速度计的主要发