薄膜体声波谐振器横向杂散模式三维仿真分析 - 压电与声光.pdf

第 卷第 期 压 电 与 声 光 ３９ ３ Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．３ 　 　 　 　 年 月 ２０１７ ６ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ｊｕｎ．２０１７ 文章编号： （ ） １００４２４７４２０１７０３０３２７０４ 　　 薄膜体声波谐振器横向杂散模式三维仿真分析 张玲玲，刘梦伟，李 鉴，宫俊杰，汪承灏 　 （中国科学院 声学研究所 声场声信息国家重点实验室，北京 １００１９０） 摘 要：利用有限元分析软件 ＡＮＳＹＳ建立了ＦＢＡＲ三维振动模型，分析了不同有效区域形状（方形、圆形、非 　　 　 正五边形）、不同有效区域面积（ ２、 ２、 ２、 ２、 ２）和不同压电层材料 １００００ ｍ １５６２５ ｍ ２２５００ ｍ ３０６２５ ｍ ４００００ ｍ μ μ μ μ μ （ 、 ）对其横向杂散模式的影响，得到了阻抗特性曲线及不圆度（ ）。有效区域形状为非正五边形时，得到 ＡｌＮ ＺｎＯ ＮＣ 最平滑的阻抗曲线和最小的ＮＣ值为０．０１５１；有效区域面积为４００００ ｍ２ 时得到最小的ＮＣ值为０．００５５；在相同 μ 谐振频率（ ）下，用 作压电材料时得到较小的 值为 。 １．７６ＧＨｚ ＺｎＯ ＮＣ ０．０１２９ 关键词：薄膜体声波谐振器；谐响应；横向杂散模式；有限元 中图分类号： 文献标识码： ＴＮ７１３ Ａ 　　　 ３犇犛犻犿狌犾犪狋犻狅狀狅犳狋犺犲犛狌狉犻狅狌狊犔犪狋犲狉犪犾犕狅犱犲狊狅犳犉犅犃犚 狆 ， ， ， ， 犣犎犃犖犌犔犻狀犾犻狀 犔犐犝犕犲狀狑犲犻犔犐犑犻犪狀犌犗犖犌犑狌狀犻犲犠犃犖犌犆犺犲狀犺犪狅 犵 犵 犵 犼 犵 （ ， ， ， ， ） ＳｔａｔｅＫｅ Ｌａｂ．ｏｆＡｃｏｕｓｔｉｃＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＡｃｏｕｓｔｉｃｓ ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍ ｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ Ｂｅｉｉｎ １００１９０ Ｃｈｉｎａ ｙ ｙ ｊｇ ： 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｔｈｅ３ＤｆｉｎｉｔｅｅｌｅｍｅｎｔｍｏｄｅｌｏｆＦＢＡＲｗａｓｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄｕｓｉｎ ＡＮＳＹＳｔｏａｎａｌｚｅｔｈｅｅｆｆｅｃｔｓｏｆｓｕｒｉｏｕｓ ｇ ｙ ｐ ｌａｔｅｒａｌｍｏｄｅｓｃａｕｓｅｄｂ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｓｈａｅａｎｄａｒｅａｓｉｚｅｏｆｔｈｅａｃｔｉｖｅｒｅｉｏｎａｎｄ