第六章压电式传感器教程.pptVIP

三、压电式超声波传感器 超声波传感器（又称超声波探头），按其作用原理分为压电式、磁致伸缩式、电磁式等数种，其中以压电式为最常用。 压电式超声波探头是利用压电元件的逆压电效应，将高频电振动转换成高频机械振动，产生超声波（发射探头）。 利用正压电效应将接收的超声波振动转换成电信号（接收探头）。 由此构成的超声波传感器可以测量厚度、液位、流量等。 为了使压电陶瓷具有压电效应，必须进行极化处理。 所谓极化处理，就是在一定温度下对压电陶瓷施加强电场（如20～30kv/cm直流电场），经过2～3小时以后，压电陶瓷就具备压电性能了，这是因为陶瓷内部的电畴的极化方向在外电场作用下都趋向于电场的方向，这个方向就是压电陶瓷的极化方向，通常取 z 轴方向。 经过极化处理的压电陶瓷，在外电场去掉后，其内部仍存在着很强的剩余极化强度，当压电陶瓷受外力作用时，电畴的界限发生移动，因此剩余极化强度将发生变化，压电陶瓷就呈现出压电效应。 电场方向 电极化处理后的电畴 3、压电常数和表面电荷的计算 a.石英晶体的压电常数和表面电荷的计算 从石英晶体上切一片平行六面体 — 晶体切片，使它的晶面分别平行于x、y、z轴。 b t l z x y T1 （1）当晶片受到 x 方向压缩应力T1(N/m2)作用时，晶片将产生厚度变形，在垂直于x轴表面上产生的电荷密度σ1与应力T1成正比。 式中， F1 — 沿晶轴 x方向施加的压缩力（N）； d11— 压电常数，与受力和变形的方式有关。石英晶体在x方向承受机械应力时，压电常数 d11=2.3×10-12(C/N)； l、b — 石英晶片的长度和宽度(m)。 q1 — 垂直于x轴晶片表面上的电荷(c)。 又因为 所以 当石英晶片在x轴方向施加压缩力时，产生的电荷q正比于作用力F1，与晶片的几何尺寸无关，若晶片在晶轴x方向受到拉力（大小与压缩力相等）的作用，则仍在垂直于x轴表面上出现等量电荷，但极性相反。 ? + + + + ? ? ? x F1 F1 ? + + + + ? ? ? x F1 F1 石英晶片上电荷极性与受力方向的关系 （2）当晶片受到沿 y（即机械轴）方向的应力T2作用时，在垂直于x轴表面出现电荷，电荷的极性如下图示。 ? + + + + ? ? ? x F2 F2 ? + + + + ? ? ? x F2 F2 电荷密度σ12与施加的应力T2成正比。 电荷量 ： 式中：d12—石英晶体在 y 方向承受机械应力时的压电常数。 根据石英晶体的轴对称条件d12=?d11（y 轴受压，相当于x轴受拉） F2 — 沿y方向对晶体施加的作用力（N）； q12 — 在F2作用下，在垂直于x轴晶片表面上出现的电荷量(c)； l、t — 分别为石英晶片的长度和厚度（m）。 可见，沿机械轴方向对晶片施加作用力时，产生的电荷量与晶片的尺寸有关。适当选择晶片的尺寸（长度和厚度），可以增加电荷量。 （3）当石英晶体受到z轴（即光轴）方向应力T3作用时，无论是拉伸应力，还是压缩应力，都不会产生电荷，即：因T3≠0，所以d13=0。 （4）当石英晶体分别受到剪切应力T4、T5、T6作用时， 则有 （即d15= 0） （即d16= 0） x y z 1 2 3 4 5 6 以上三式中的T4、T5、T6分别为晶片x面（即yz平面）、y面（即zx平面）和z面（即xy平面）上作用的剪切应力。 综上所述，只有在沿x、y方向作用单向应力和晶片的x面上作用剪切应力时，才能在垂直于x轴的晶片表面上产生电荷，即 同理，通过实验可以证明，在垂直于y轴的晶片表面上，只有剪切应力T5和T6的作用才出现电荷，即 （因，d25=?d14， d26= ? 2d11 ） 在垂直于 z 轴向的晶片表面上，电荷密度 由此可得到石英晶体在所有应力作用下的顺压电效应矩阵表达式 ： 1）由压电常数矩阵知，石英晶体独立的压电常数只有两个即： d11=±2.3×10-12(C/N)； d14=±0.73×10-12(C/N) 右旋晶体d11和d14值取负号；左旋石英晶体d11和d14取正号。 2）压电常数dij有两个下标，其中i (i=1,2,3) 表示在 i 面上产生电荷，如 i =1,2,3，分别表示在垂直于x、y、z轴的晶片表面，即x、y、z面上产生电荷。下标 j = 1,2,3,4,5,6其中j =1,2,3分别表示晶体沿x、y、z轴方向承受单向应力；j =4,5,6