精测长度量测量.ppt

电容传感器小孔径测量仪 直接测量 将被测量直接和标准量进行比较。可分为绝对测量和相对测量 绝对测量法：仪器示值为被测量的绝对值，常以刻度尺、光栅尺、波长等作为测量基准，一般具有绝对零位，示值范围较大。如游标卡尺、千分尺、测长仪、测长机、工具显微镜、激光干涉仪等。 相对测量法：仪器示值为被测量相对于某一定值标准量的偏差值。标准量应尽可能与被测量具有相同定义及公称值。用于相对测量的仪器多称作测微仪或比较仪，一般具有放大倍数大，示值范围较小、测量精度高、零位可调的特点。如杠杆百分表，立式光学计、接触式干涉仪、电容测微仪等。 间接测量 测量得到的量值是被测量有确定函数关系的参量，被测量的值须通过计算求得。 坐标测量法 弓高弦长仪 激光衍射 间接测量——坐标测量法 接触式 非接触式 测量精度高 测量速度慢 有测力误差 需补偿测头半径 测量精度低 测量速度快 无测力误差 无需补偿测头半径 间接测量——弓高弦长法 间接测量——弓高弦长法 间接测量——激光衍射法 夫琅和费衍射原理及巴比涅互补定理 测量范围0.01~0.1mm 测量精度0.05μm 间接测量——激光衍射法 衍射级的增加 光强迅速减小 → 灵敏度下降 直径变化引起的条纹位置变化增大 → 灵