激光干涉仪测量原理汇编.pptVIP

现代集成制造与数控装备研究所 CIMS 机械与汽车工程学院 激光干涉仪原理介绍 ——线性测量与回转轴校准 一、基本概念 激光干涉仪是利用激光作为长度基准，对数控设备(加工中心、三座标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量的精密测量仪器。 什么是激光干涉仪？ 机床精度的21项误差 For Linear measurement (3): xdx ydy zdz For Angular measurement (9): Ax Bx Cx Ay By Cy Az Bz Cz For Straightness measurement (6): xdy xdz ydx ydz zdx zdy For Squareness measurement (3) XZ, XY, YZ 激光的产生 LASER是Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation的缩写，意为通过受激发射线的放射达到光的放大，即激光。 大多数现代位移干涉仪都使用氦氖 (He-Ne) 激光管，这些激光管具有633纳米 (nm) 的波长输出 氦氖激光管的构成如下所示： 激光输出可视为一束正弦波。 波长 激光及其特点 激光具有三个重要特性： 激光波长非常稳定，可以精密测量测量的要求。 激光波长非