考虑高指数晶面的体硅腐蚀模拟新CA模型.pdf

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 年 月 考虑高指数晶面的体硅腐蚀模拟新 模型 周再发 黄庆安 李伟华 邓 伟 东南大学 教育部重点实验室南京 摘要针对目前体硅腐蚀硅各向异性腐蚀的 模型无法引入 等较多高密勒指数 晶面模拟精度不高的问题建立了一种高精度的体硅腐蚀模拟的新 连续 元胞自动机模型 模型可以有效 引入 等高密勒指数晶面提高模拟精度 模拟结果与实验结果一致证明了模型的模拟 效果对体硅腐蚀模拟研究和提高 设计水平具有一定的实用意义 关键词元胞自动机腐蚀模拟微机电系统微加工技术各向异性腐蚀 中图分类号 文献标识码 文章编号 果一致证明了模型的模拟效果对硅各向异性腐蚀 引言 模拟研究和提高 设计水平具有一定的实用 意义 体硅腐蚀硅各向异性腐蚀技术 是指在硅的 连续 模型 腐蚀过程中硅的不同晶面具有不同的腐蚀速率它 是 加工 连续 模型采用图 所示的硅的晶格结