采用双晶片驱动的棒板结合式压电驱动器设计.pdfVIP

第16卷第12期 光学精密工程 V01．16No．12 andPrecision 2008年12月 Optics Engineering Dec．2008 文章编号 1004—924X(2008)12—2366—05 采用双晶片驱动的棒板结合式压电驱动器设计 褚祥诚，陈翔宇，李龙土 (清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室，北京100084) 摘要：设计制作了一种采用双晶片压电陶瓷结构的棒板结合式压电驱动器。和参考文献中的驱动器不同，其两个压电陶 瓷片分别粘接在青铜定子的上下两侧。定子上的金属圆柱体被用来放大振动的横向位移，并对金属棒状的转子进行激 振，使其旋转。利用有限元分析(FEA)对定子进行了分析，发现在同样的驱动模式下。与传统的单片陶瓷片驱动器相比， 该驱动器可以提供更多的横向和纵向的振动位移，大约提高25％左右。这种新结构也可避免不同振动模式之间的模态 Vo-p低电压下可以提供512 耦合现象，并产生理想的振动模态，以提高驱动器的运行稳定性。实验表明，驱动器在25 r／min的转速，而单片陶瓷驱动器在该电压下不能工作。这种压电驱动器可以经过优化和调整来满足不同的实际应用， 如精确定位仪器，生物工程和光聚焦系统等。 关键词：压电驱动器，振动模态；棒板结合f有限元法 中图分类号：TM384文献标识码：A structuremicro actuatorwith Disk-pivot piezoelectric bimorph CHU Long-tu Xiang-cheng，CHENXiang-yu，LI Fine (State NewCeramicsand Material KeyLaboratoryof Processing，Departmentof Scienceand 100084，China) Engineering，TsinghuaUniversity，BeOing with structuremicro actuator is from Abstract：Adisk-pivot piezoelectric bimorphdesigned．Different describedinreference inthe are the actuators discs actuator piezoelectric papers，tWOpiezoelectric bondedthebothsidesofthebronzestator．Themetal onthestatorisusedto the on cylinder amplify transverse andtoactuatethemetalrodrotortorotate．ThestatoriS Finite displacement analysedusing