BESOI光波导的研制-光子学报.PDF

第 卷第 期 光 子 学 报 公 年 月 ’ 光 导的 波 研制 国 洲 郑玉 刘恩 李 正 赵策 祥 科 安交 学 系 安 , 西 大 电子工程 西 , 本文 大量实 , 用健合 性方法研制 功 光波导 输损 摘 要 过 验 采 及背腐 成 传 耗仅 关键词 集成光学 光波导 引言 , 一般 延 导 在 一 层 一 比 一 的外 硅光波 是 衬底上外延一 制成 的 一 的折射率 的 , , 而 以 导 于 , 能 弱 因此 高 从 可 维持 波 然而由 两层 之间的折射率相差无几 波导对光 的限制 力较 泄漏 , , 、 空 和 损耗大 光波导 其上下分别是 气和 硅 空气 的折射率分别为 、 、 , , , 它 之 差 因 导 约 强 们 间 别大 此 光波 对光的 束能力 得多 泄漏损耗 自然小 、 、 , , 它 器 另外 结构的电子器件具有寄生电容小 速度高 抗辐射能力强等优点 与集成光 件的