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Fe离子注入ZnO产生的缺陷及磁学性能研究-武汉大学学报理学版
（ ）
第 卷 第 期 武汉大学学报 理学版
５９ ４ Ｖｏｌ．５９ Ｎｏ．４
年 月 （ ） ，
２０１３ ８ Ｊ．ＷｕｈａｎＵｎｉｖ．Ｎａｔ．Ｓｃｉ．Ｅｄ． Ａｕ ．２０１３ ３９３ ３９７
ｇ ～
文章编号： （ ）
１６７１８８３６２０１３０４０３９３０５
－ － －
离子注入 产生的缺陷及磁学性能研究
Ｆｅ ＺｎＯ
， ， ， ， ，
李重阳 邱 诚 柳 丹 叶 霞 王 栋 陈志权
（ ， ）
武汉大 学 物理科 学与技术 学院 湖北 武汉 ４３００７２
１７ ２
： （ ） ， ／
摘 要 氧化锌 单晶在室温下注入了能量在 之间 总剂量为 的 离子
ＺｎＯ ５０ ３８０ｋｅＶ １．２５×１０ ｃｍ Ｆｅ ．
～
，
利用慢正电子束技术研究了离子注入产生的缺陷 正电子湮没多普勒展宽测量表明 离子注入产生了大量的空位
．
， ， ，
团 在经过 以下的较低温度退火后 这些空位团的尺寸进一步增大 随后在高温退火后空位团开始恢复 经
． ４００ ℃
， ，
过 以上退火后大部分缺陷已经消失 而在 退火后 所有离子注入产生的缺陷得到消除 射线衍射
７００ ℃ １０００ ℃ ．Ｘ
， ，
测量也表明离子注入产生了晶格损伤 且经过 退火后基本得到恢复 另外 在 退火的注入样品中还观
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