一种数字频率特性测试仪的设计-南京信息工程大学学报.PDF

文章编号：１６７４⁃７０７０（２０１５）０２⁃０１３７⁃０５ 孟瑞丽　 宋安 　 张宏群 　 尤天羽　 刘恒１ １ １ １ １ 一种数字频率特性测试仪的设计 摘要 ０　 引言 设计了一种基于正交调制原理的数 字频率特性测试仪，系统用稳态响应法 　 　 基于硅微机械加工技术制造的，具有力学谐振频率的微谐振式 测量电路的频率特性．单片机作为主控 传感器是一类非常重要的传感器．它通过检测其机械谐振器谐振频率 芯片，完成系统的总体控制及数字信号 处理；使用集成的直接数字频率合成芯 的变化来实现外部物理量的测量，特点是尺寸小、制作成本低廉、功 片输出全频率范围内的正弦波．系统对 耗小，易与数字电路接口，具有广阔的应用前景．同时，微谐振式传感 待测电路的输入信号及其输出响应采 器的重复性、分辨率和稳定性非常优良，它适于测量多种物理量，如 样，经数字信号处理后，获得电路的幅频 ［１］ 特性和相频特性．设计的测试仪测某 压力、真空度、角速度、加速度、流量、大气电场强度等 ．微机械谐振 ＲＬＣ 网络，中心频率的相对误差小于 式传感器的品质因数和谐振频率的确定可以为后续的测控电路参数 ０２％，有载品质 因数相对误差小于 ［２⁃３］ 的选定提供重要依据 ，而微机械谐振式传感器又可以等效为一个 － １２５％，最大电压增益大于 １ｄＢ．频率特 ［４⁃５］ 性测试仪输入输出阻抗均为５０ Ω，幅频 ＲＬＣ 串联网络 ，通过扫频测试可以获得品质因数和谐振频率．目 误差绝对值小于０５ ｄＢ，相频误差绝对 前，谐振频率和品质因数的测试主要采用电学和光学两种测试方法， 值小于３°，测试仪能满足微机械谐振传 光学测试中需要利用显微镜和计算机视觉辅助仪器，电学测试一般 感器特征参数测试需求． 关键词 采用动态信号分析仪器，通过频率扫描来测定幅频和相频曲线，进而 直接数字频率合成（ＤＤＳ）；正交；幅 确定品质因数和谐振频率．由于实验经费的限制，本文介绍了一种基 频曲线；相频曲线 于正交调制原理的数字频率特性测试仪设计，价格低廉、操作简单．设 中图分类号 ＴＮ９１１２３ 计研制的频率特性分析仪通过测试某ＲＬＣ 网络，获得了较好的精度， 文献标志码 Ａ 能够应用于微机械谐振传感器品质因数和谐振频率特征参数的测量． １　 基于正交的频率特性仪设计原理 设计的一种数字频率特性测试仪由正交信号源采用直接数字频 率合成（ＤＤＳ）芯片ＡＤ９８５４、自动增益控制芯片ＡＤ６０３、模拟乘法器 ＡＤ８３５、有源二阶低通滤波器（ＬＰＦ） 、主控芯片ＭＳＰ４３０Ｆ１４９单片机、 收稿日期 ２０１４⁃０２⁃１５ 晶体管显示屏（ＴＦＴ）矩阵按键等组成． 资助项目 江苏省自然科学基金（ＢＫ２０１３１００ １）；江苏省高校自然科学研究基金（１３ＫＪＢ５１０ 其中主控芯片ＭＳＰ４３０Ｆ１４９控制ＡＤ９８５４产生两路正交正余弦电 ０１７）；制造过程测试技术⁃省部共建教育部重 压信号，产生的信号频率和变换方式由单片机写入ＡＤ９８５４储存器的控 点实验室开放基金（１４ＺＸＺＫ０２） 作者简介 制字来实现．产生的Ｉ、Ｑ两路正交信号经过自动增益放大，其中放大后 孟瑞丽，女，硕士生，主要研究微机械谐振 的Ｉ路电压信号一支路通过被测量