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第卷第期中国表面工程第期陈爽等铝阳极氧化膜的硫酸钇脉冲封闭年月溅射参数对预制膜成分和结构的影响李春雷庄大明张弓宋军清华大学机械工程系北京摘要作为太阳能电池重要组成部分的吸收层可以采用预制膜硒化两步法制备文中采用磁控溅射方法制备了成分均匀具有一定成分比例的预制膜射线荧光分析结果显示随着溅射电流的增加预制膜的原子比减小预制膜的原子比保持不变射线衍射分析结果表明预制膜主要由相组成元素以固溶的形式存在于预制膜中对于预制膜随着溅射电流的增加薄膜中的相逐渐向转变关键词太阳能电池磁控溅射预制膜中图分类号文献标
第 23 卷 第 3 期 中 国 表 面 工 程 Vol.23 No.3
第 1 期 陈 爽等：铝阳极氧化膜的硫酸钇脉冲封闭 49
2010 年 6 月 CHINA SURFACE ENGINEERING June 2010
doi: 10.3969/j.issn.1007−92
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