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大功率光导开关硅微通道散热器设计与测试-强激光与粒子束
第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ,
23 10 Vol.23 No.10
年 月 ,
2011 10 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Oct. 2011
文章编号: ( )
10014322201110281704
大功率光导开关硅微通道散热器设计与测试
赵 越, 谢卫平, 刘宏伟, 刘金锋, 李洪涛, 袁建强
(中国工程物理研究院 流体物理研究所,四川 绵阳 621900)
摘 要: 因焦耳加热导致光导开关芯片温度升高并形成局部热点,影响了光导开关功率容量、重复频率
和寿命的提高,因此需对光导开关进行主动冷却。设计了一种矩形微槽硅微通道散热器,其由散热器本体和盖
板两部分组成,散热器本体上设有分流槽、矩形微槽阵列、汇流槽,盖板通过半导体刻蚀工艺形成通孔,两部分
通过硅 硅键合工艺连接以形成闭合通道。以水为工质,实验测试了不同冷却工质流量、进口温度时微通道散
热器的换热性能、温度均匀性和流体阻力,证明该微通道散热器在适中的冷却工质流量下具有较高的换热性
能、较低的流体阻力和较好的温度均匀性,满足重复频率大功率光导开关的散热冷却需求。
关键词: 光导开关; 矩形微槽; 硅微通道散热器; 表面传热系数; 压力降
中图分类号: 文献标志码: : /
TM836 A 犱狅犻10.3788HPLP2817
光导半导体开关( )具有结构紧凑、闭合时间短、开关抖动小、同步精度高、光电隔离等诸多优点,在紧
PCSS
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凑型重复频率脉冲功率源中日益受到重视 。 年, 等人 发现砷化镓等 族化合物
1987 G.M.Loubriel
Ⅲ Ⅴ
PCSS存在 lockon工作模式,该模式下触发光能量仅为线形模式下的0.001% 0.1%,因而可用半导体激光
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二极
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