大功率光导开关硅微通道散热器设计与测试-强激光与粒子束.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２３ １０ Ｖｏｌ．２３ Ｎｏ．１０ 　 　 年 月 ， ２０１１ １０ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｏｃｔ． ２０１１ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１１１０２８１７０４ 　 大功率光导开关硅微通道散热器设计与测试 赵 越， 谢卫平， 刘宏伟， 刘金锋， 李洪涛， 袁建强 　 　 　 　 　 　 （中国工程物理研究院 流体物理研究所，四川 绵阳 ６２１９００） 摘 要： 因焦耳加热导致光导开关芯片温度升高并形成局部热点，影响了光导开关功率容量、重复频率 　　 　 　 和寿命的提高，因此需对光导开关进行主动冷却。设计了一种矩形微槽硅微通道散热器，其由散热器本体和盖 板两部分组成，散热器本体上设有分流槽、矩形微槽阵列、汇流槽，盖板通过半导体刻蚀工艺形成通孔，两部分 通过硅 硅键合工艺连接以形成闭合通道。以水为工质，实验测试了不同冷却工质流量、进口温度时微通道散  热器的换热性能、温度均匀性和流体阻力，证明该微通道散热器在适中的冷却工质流量下具有较高的换热性 能、较低的流体阻力和较好的温度均匀性，满足重复频率大功率光导开关的散热冷却需求。 关键词： 光导开关； 矩形微槽； 硅微通道散热器； 表面传热系数； 压力降 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＭ８３６ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ２８１７ 　　 　 　　　　 　 　　 光导半导体开关（ ）具有结构紧凑、闭合时间短、开关抖动小、同步精度高、光电隔离等诸多优点，在紧 ＰＣＳＳ 　　 ［］ ［］ １ ２ 凑型重复频率脉冲功率源中日益受到重视 。 年， 等人 发现砷化镓等 族化合物 １９８７ Ｇ．Ｍ．Ｌｏｕｂｒｉｅｌ  Ⅲ Ⅴ ＰＣＳＳ存在 ｌｏｃｋｏｎ工作模式，该模式下触发光能量仅为线形模式下的０．００１％ ０．１％，因而可用半导体激光 ～ ［ ］ ３５ 二极