应力对铋系铁电薄膜性能影响的研究进展-物理学进展-南京大学.PDF

第 卷 第 和 期 物 理 学 进 展 ， ２６ ３ ４ Ｖｏｌ．２６Ｎｏ．３ａｎｄ４ 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００６ ９ ＰＲＯＧＲＥＳＳＩＮＰＨＹＳＩＣＳ Ｓｅ．２００６ 　 ｐ 文章编号： （ ） 、 １００００５４２２００６０３０４０４９００５ 应力对铋系铁电薄膜性能影响的研究进展 吴秀梅，吕笑梅，朱劲松 （南京大学固体微结构国家重点实验室，物理系，南京 ２１００９３） 摘 要： 应力普遍存在于铁电薄膜中，是影响薄膜性能和薄膜电子器件可靠性的一个重要参 　 　 数。本文系统介绍了本小组近年来所进行的应力对铋系铁电薄膜（ ， Ｂｉ Ｌａ ＴｉＯ Ｂｉ Ｎｄ ３．２５ ０．７５ ３ １２ ３．１５ ０．８５ 和 ）的铁电性能及与铁电存储有关的开关、疲劳性能等影响的研究。结果表明： ＴｉＯ ＳｒＢｉＴａＯ ３ １２ ２ ２ ９ 张应力有利于增大薄膜的剩余极化和开关电荷量，而压应力却使得两者都降低。还发现：应力对 薄膜的开关时间、矫顽场、疲劳性能等都有影响。其结果都与“应力作用下薄膜内铁电畴的重新取 向”有关。 关键词：应力效应；铋系铁电薄膜；铁电性能；开关与疲劳 　 中图分类号：Ｏ４８４ 文献标识码： Ａ 　 　 　　　　　　　 ０ 引言 　 ［］ １ 铁电薄膜由于在非挥发性存储器上的应用而受到广泛关注 。薄膜的剩余极化、矫顽场、 开关电荷量、开关时间的大小及其抗疲劳性能的优劣，都是影响薄膜存储器应用的重要参数。 铁电体具有电滞回线，当电场撤去为零时，薄膜中保留的宏观极化为剩余极化 。正、负的剩 犘 狉 余极化可以作为存储器的编码“”、“”来存储信息，其大小直接影响在存储器上的应用；矫顽 ０ １ 场 是指极化为 时的电场；开关电荷量影响器件的分辨能力，而开关时间影响读写速度；疲 犈 ０ 犮 劳是指在外场作用下，随着翻转次数的增多，极化值逐渐减少，当极化值减少到一定程度时， “”、“”两种状态将难以区分，导致存储器失效。所以，研究薄膜的上述性能及其影响因素，对 ０ １ 其在铁电存储器上的应用具有重要意义。 ［，］