微扩散器泵的最佳设计.PDF

微擴散器泵的最佳設計 Optimum Design of Microdiffuser Pumps 孫珍理､楊宗翰､高然星 台灣科技大學機械工程系 Email: clsun@mail.ntust.edu.tw 尺寸較小，元件中並無可移動組件，可減少組件磨 摘要 耗，且製程較為單純，更適合在微尺度的應用。 本研究主要針對微擴散器泵的流體指向性(flow 近十幾年文獻中所提出的無閥微型泵 (valveless directing property) ，探討不同擴散器半角、壓力振幅 micropump)研究，皆是利用流體指向性 (flow directing 及壓力振盪頻率對於泵效能的影響。其中擴散器半角 property) 進行設計。此種概念最早是在1989 年由 van 範圍為 5o 至 55o ，壓頭振幅為40 mm 、50 mm及 60 de Pol [5, 6]所提到 ，並在 1993 年由 Stemme 與 mm ，壓力振盪頻率為0.27 Hz 至 0.66 Hz 。 Stemme [7]成功展示以擴散器與噴嘴作為原型的微型 實驗分為穩態與動態量測兩個部份。穩態量測為 泵。在 1997 年 Olsson 等[8]使用 DRIE(Deep Reactive 提供一固定壓力，分別量測噴嘴與擴散器方向的體積 Ion Etching)技術蝕刻擴散器流道溝槽，製作橫斷面為 流率。由實驗結果得知，對於相同的半角，擴散器方 矩形的擴散器，並利用壓電材料驅動形成動態壓力 向的流率皆大於噴嘴方向，代表微擴散器泵的流體指 差。1997 年 Jiang 等[9]提到擴散器泵的效率不僅與元 向性易造成往擴散器方向的淨流率。若以穩態量測時 件幾何形狀有關，也受到流場 Reynolds number極大 擴散器與噴嘴方向體積流率的差值作為可得最大淨 的影響 。2000 年Olsson 等[6] 改變擴散器長度 (1093 µm 流率的指標，發現 25o 為最佳半角。 o o o 與 1044 µm)及半角 (3.5 、4.9 與 6.5 ) ，發現減少半角 動態量測部份，在所測試的壓頭振幅與頻率範圍 會得到較佳的流體指向性，而較短的擴散器長度在動 內，所得之淨流率亦皆發生在擴散器方向，且在半角 態操作下能導致較高的淨流率。 2004 年 Kim 等[10] 為 25o o 時可得最大的動態淨流率。當半角小於 25時， 利用 polydimethylsiloxane (PDMS) 材料製作微型 o 淨流率隨半角增加而上升，而半角大於 25時，淨流 泵 ，發現若利用壓電材料致動 ，則頻率越高時壓電材 率則隨半角增加而下降。實驗結果亦發現，頻率增加 料的振幅越小，產生的淨流率亦越小 。 反而會造成淨流率下降，而壓頭振幅增加一般會造成