半导体锗硅薄膜材料及相关工艺技术.pdfVIP

趋势与展望 T Outlook features S 半导体锗硅薄膜材料及相关工艺技术 王光伟 (天津工程师范大学 电子工程系，天津 300222） 摘要：综述了锗硅薄膜材料的特性与应用、制备技术、固相结晶、与过渡金属的固相反应等一系列内 容，探讨了提高锗硅薄膜结晶度的工艺手段和各自的优缺点，分析了锗硅薄膜与钴等过渡金属固相反应的特 点及在集成电路上的应用。 关键词：锗硅；薄膜材料；固相结晶；固相反应；集成电路 中图分类号：TN304.055文献标识码：A 文章编号：1003-353X(2006)12-0881-06 WANG Guang-wei ( Tianjin300222,Chi