惯性感测元件之控制电路设计与应用 - 自动控制工程学系 - 逢甲大学.pdfVIP

逢 甲 大 學 自動控制工程學系專題製作 專 題 論 文 慣性感測元件之感測電路設計與應用 Sensing Circuit Design of MEMS Accelerometer and It’s Applications 指導教授：鄒慶福 學 生：陳彥志 張儂宇 鄭尹琳 中 華 民 國 九 十 六 年 五 月 三 十 日 致 謝 首先誠摯的感謝指導教授鄒慶福博士，老師悉心地教導與督促，使我們得以 一窺微機電領域的奧秘，並不時地討論且指點我們正確的方向，在這些時間中獲 益匪淺，老師對學問的嚴謹更是我輩學習的典範。 感謝李鴻忠、賴騰憲、林哲煒、黃建儒、林建宏及陳威宇學長們不厭其煩的 指出研究中的缺失，且總能在我們迷惘時為我們解惑，也讓我們增加了許多實力 與經驗，另外亦得感謝的劉育嘉、黃正翰及同學大力協助，因為有你們的體諒及 幫忙，使我們研究的過程更為順遂。在此亦感謝黃榮興老師及黃建立老師兩位口 試委員，有您們的批評與指正，使得本論文能夠更完整而嚴謹。 在這些日子裡，實驗室共同的生活點滴、學術上的討論、言不及義的閒扯， 無疑在我們研究的生涯中增添了無比的丰采。感謝眾位學長、同學們的共同砥 礪，有你們的陪伴讓專題生活變得絢麗多彩。 最後，謹以此文獻給我們摯愛的雙親。在未來的旅途，我們也將帶著大家的 關懷和鼓勵，繼續奮鬥繼續接受未知的挑戰，在浩瀚無垠的領域中，勇往直前， 充分表現出應有的學習態度及求知精神。 i 中文摘要 本專題針對慣性感測元件之感測電路進行設計，並整合相關元件製作出新式 的發光顯示模組應用在車輛警示系統，其中該模組包括一感應輸出電路、高亮度 發光二極體及一慣性感測微元件。其感應機制 是利用慣性感測微元件，如加速 規，感受到車輛或是載具產生速度變化及受到震動外力時，該加速規會產生一個 輸出訊號促使感應輸出電路形成導通狀態，進而使得發光二極體在通路狀態下產 生發光效果，以提供視覺顯示或警示的作用。因此，將本專題開發之發光顯示模 組安裝在安全帽或交通工具上，可以提高行車安全性，或是將該模組配戴在使用 者身上，隨著使用者行進的快慢而自動發光顯示，進而提高行人的安全性。 ii Abstract In this paper, demonstrating the new type luminescence monitor module through integrate inertia sensor and electronic circuit. The module includes the control electronic circuit, high brightness Light-Emitting Diode and one inertia sensor fabricated that made by the MEMS technology. The inertia sensor components like an accelerometer which could detect acceleration and vibration from the moving object, in the same time outputting a signal to control the Light-Emitting Diode switching on so the module could provides v