光电功能薄膜技术（研讨）2薄膜真空技术.pptVIP

电离真空计（Ionization Gauge） （a）内部结构 （b）工作原理示意图 工作原理：利用气体分子与振荡电子的碰撞电离作用测得气压 ！ 1）电子的振荡与捕获：①热电子发射 ? ②加速飞向栅极 ? ③部分被捕获 ? ④漏网飞离栅极 ?  ⑤反向减速再反向加速飞回栅极 ? ⑥再捕获 ? 漏网逃离栅极 ?  ? 重复以上过程 2）气体分子碰撞电离：电子往复振荡与气体分子不断碰撞使之发生电离，电离产生的二次电子继续 加入振荡-捕获过程，而气体离子则飞向离子收集极形成回路电流，且满足： Ie — 灯丝电流；S — 常数。 3）获得相对气压测值：灯丝电流 Ie 一定时，就可由离子电流 I+ 的大小测得气压 P。 真空的测量 电离真空计（Ionization Gauge） （a）S-