光电功能薄膜技术（研讨）序言+真空技术.pdfVIP

课程名称：光电功能薄膜技术（研讨） 时间安排：1-16周 周四（6-7 ） 教七-10A 第1-13周：授课、研讨 第14、15周：实验、答疑 第16周：考试 考核方式：出勤、实验、考试 有关 “薄膜 （thin film ）”的定义 ① two-dimension materials ② thin 多“薄”的膜才算薄膜？（视功能及其应用领域而定） ③ film = layer of material on a substrate 薄膜有时与类似的词汇“涂层” （coating）、“层”（layer）、“箔” （foil ）等有相同的意义，但有时又有些差别。 薄膜可以有气体薄膜、液体薄膜 （液晶），但研究最多、 应用最广的是固体薄膜 （Thin Solid Film ）。 为什么需要薄膜 1、对基板的性能进行改良 金刚石薄膜、防腐层、半导体单晶片外延层 2、对基板的性能进行改性 疏水/亲水性(汽轮机叶片、眼镜) 反射/透射/偏振镜片 3、在基板上实现新的化学、光学和电学等性能，或者 获得新的材料 薄膜技术作为材料制备的有效手段