半导体材料的培训.pptVIP

半导体材料的应用 培训讲义 前言 感谢人力资源部给了我这次与产品工程师与工艺工程师交流的机会，我把我公司原材料的使用、检验、管理和原材料对产品产生的影响跟各位介绍一下。 各位产品工程师与工艺工程师在平时工作中，对原材料有什么要求和对原材料哪些性能需要了解，请及时与我联系。我希望在和各位工程师在密切的联系、协作中，使我公司原材料质量不断提高，进而使我公司产品质量不断提高。 半导体材料的分类 化学品 衬底材料 光掩模材料 封装材料 辅助材料 化学品 化学试剂 特种气体 光刻胶 化学试剂 用途 扩散源 清洗 腐蚀 技术等级 分析纯、优级纯、高纯低颗粒、MOS级、CMOS级 检验方法 供方出据检验报告单与我公司检验标准对照； 合格供方保证质量,出现问题质计部送检. 化学试剂 引用标准 日本东芝工艺标准、国家标准 合格供方 北京化工厂、沈阳第一试剂厂、沈阳化学试剂厂 试用厂家 江阴化学试剂厂 制备 原料检验——精镏——过滤——包装 包装：大包装和小包装可以根据工艺进行选择 扩散源 技术要求 纯度 颗粒 金属离子 硼源 有效成份为三氧化二硼,三氧化二硼在900℃时与硅发生氧化还原反应,三氧化二硼被还原为硼原子而淀积在硅片表面.其化学方程式是: 2B2O3+3Si =3SiO2+4B 磷源 液态源三氯氧磷在较高