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编辑林晓接第页霍裕昆陈建新等离子轰击入射角对溅射参数的影响物理学报溅射粒子能谱特性的拟研究核技术责任编辑沈芸
38 4 ( ) Vo.l 38No. 4
2010 8 Journal ofFuzhouUniversity(NaturalScience) ug. 2010
: 1000- 2243( 2010) 04- 0568- 06
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