一种新型多官能度乙烯基醚树脂的制备及在光刻负胶中的应用3.PDF

( ) 南京大学学报 自然科学 第 46 卷 　第 1 期 Vol . 46 , No . 1 　　　 　　　　 J OU RN AL O F N ANJ IN G U N IV ER SI T Y 20 10 年 1 月 J an .20 10 (N A TU RAL SCIEN CES) 一种新型多官能度乙烯基醚树脂的制备 及在光刻负胶中的应用 陈 　明 ,张 　鉴 ,李志炜 ,葛海雄 ,袁长胜 ,陈延峰 (南京大学材料科学与工程系 ,南京 ,2 10093) ( ) ( ) 摘 　要 : 　以苯乙烯 ,2 - 异氰酸甲基丙烯酸酯 IEMA , 以及乙二醇单乙烯基醚 E GM E 等为原料 ,分两 ( ) ( ) 步合成了一种主链为聚苯乙烯结构的多乙烯基醚 V Es 树脂 PSIMV E . 通过测定该树脂的红外光谱 、 核磁氢谱及核磁碳谱 ,确定了其分子结构式. 测定了该树脂的紫外透光性 ,并且研究了基于该树脂的紫 外光刻负胶以甲苯及四氢呋喃为溶剂时的成膜性及紫外光固化性能. 通过接触式光刻工艺 ,在光刻胶膜 μ 层上得到了4 m 周期的光栅结构. 关键词 : 　乙烯基醚 , 自由基共聚合 ,紫外光固化 ,光刻负胶 中图分类号 : 　TN 305 . 7 Synthesis of a novel vinyl ether f unctional ized resin and its appl ication in negative photoresist Chen M i ng , Z h ang J i an , L i Z h iWei , Ge H aiX iong , Yuan Ch angS heng , Chen YanFeng (Dep art ment of Mat erial s Science and Engineering , Nanj ing U niver sit y , Nanj ing , 2 10093 , China) Abstract : 　A novel U V curable vinyl et her functionalized polymer resin wa s synt hesized via two st ep s : ( 1) f ree radical