交直流隔离的分布式MEMS 移相器设计.PDF

第 9 卷 第 3 期 信 息 与 电 子 工 程 Vo1．9，No．3 2011 年 6 月 INFORMATION AND ELECTRONIC ENGINEERING Jun．，2011 文章编号： 1672-2892(2011)03-0384-04 交直流隔离的分布式 MEMS 移相器设计 1,2 2* 2 1 贾小慧 ，高 杨 ，郑英彬 ，柏 鹭 (1.西南科技大学 信息工程学院，四川 绵阳 621010 ；2 .中国工程物理研究院 电子工程研究所，四川 绵阳 621900) 摘 要 ：设计了一种五位分布式微电子机械系统(MEMS) 移相器，通过分析对比传统分布式 MEMS 移相器加载直流偏置的两种方式，提出了一种新的直流偏置的加载方式，能解决传统方式带 来的交直流干扰和引线繁杂问题，同时工艺容易实现。采用 ADS 软件对移相器进行级联仿真，优 化了微波性能参数，仿真得出移相器在 35 GHz 时移相精确度小于 3° ，移相器的插入损耗小于 0.5 dB ，回波损耗大于 23 dB 。给出了五位分布式 MEMS 移相器的工艺流程，同时验证了所设计加载直 流偏置方式工艺简单的优势。 关键词 ：微电子机械系统；分布式移相器；工艺；直流偏置 中图分类号 ：TN623 ；TN304 文献标识码 ：A Design for an AC-DC isolated distributed MEMS phase shifter 1,2 2* 2 1 JIA Xiao-hui ，GAO Yang ，ZHENG Ying-bin ，BAI Lu (1.School of Information Engineering，Southwest University of Science and Technology，Mianyang Sichuan 621010，China； 2.Institute of Electronic Engineering，China Academy of Engineering Physics，Mianyang Sichuan 621900，China) Abstract：A 5-bit distributed Micro Electro Mechanical System(MEMS) phase shifter is designed. Based on the analysis of two different loading DC bias ways of traditional distributed MEMS phase shifter, a new loading DC bias method is put forward to resolve the problems in traditional way. The new method with simple process can separate AC and DC and avoid the complexity of wiring. Phase shifter ’s microwave performance