仿尾鳍式变截面摆动振子无阀压电叠堆泵的结构设计-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ６ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．６ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ ６ Ｊｕｎ．２０１１ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０６１３３４１０ 　 仿尾鳍式变截面摆动振子无阀 压电叠堆泵的结构设计 １ １ １ ２ １ 胡笑奇 ，张建辉 ，黄 毅 ，夏齐霄 ，黄卫清 　 （ 南京航空航天大学 精密驱动研究所，江苏 南京 ； １． ２１００１６ ２．北京联合大学 机电工程学院 ，北京 １０００２０） 摘要：受具有高速巡游速度的金枪鱼的启发，提出了一种微脉动、大流量、仿尾鳍变截面振子无阀压电泵。以压电叠堆为 激励源，设计了仿尾鳍变截面振子，实验验证了振子的二阶弯振和金枪鱼高速巡游的摆动模式一致。利用有限元分析软 件 分析了振子的模态振型，提出了模态分离更好的 型振子。为避免压电叠堆受力不均匀而受到损坏，采用钢 ＡＮＳＹＳ Ｙ 球和隔离块作为压电叠堆传递力和振动的媒介，实现了压电叠堆和泵腔内液体的干湿分离。设计了二级杠杆／柔铰机 构，放大了振子端部柔性叶片摆动幅度。最后，研制了样机，并进行了不同驱动频率下的仿尾鳍式变截面摆动振子无阀 压电叠堆泵的流量测量，结果表明，在 正弦电压的激励下，激励频率为 时泵的流量达到峰值（ ／ ８０Ｖ １３５０Ｈｚ ４００ｍｌ ｍｉｎ）。本设计方案能够有效地提高泵的性能，满足工程实践中对大流量无阀压电泵的需求。 关 键 词：无阀压电泵；仿尾鳍式；变截面摆动振子；压电叠堆 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＨ３８ＴＮ３８４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ１３３４ 　　 　　 犛狋狉狌犮狋狌狉犲犱犲狊犻狀狅犳犮犪狌犱犪犾犳犻狀狋 犲 犻犲狕狅犲犾犲犮狋狉犻犮狊狋犪犮犽 狌犿 犵 狔狆 狆 狆 狆 狑犻狋犺狏犪狉犻犪犫犾犲犮狉狅狊狊狊犲犮狋犻狅狀狅狊犮犻犾犾犪狋犻狀 狏犻犫狉犪狋狅狉 犵 １ １ １ ２ １