基于虚拟仪器的铁电薄膜电滞回线测量系统设计.PDF

电子发烧友 电子技术论坛 基于虚拟仪器的铁电薄膜电滞回线测量系统设计 1 1 2 1 张小军 ，董维杰 ，刘梦伟 ，张鹏 （1．大连理工大学 电子工程系，辽宁 大连 116024；2. 大连理工大学 微系统中心，辽宁 大连 116024） 摘要: 针对传统Sawyer­Tower电路测量薄膜电滞回线的不足，提出了电荷积分改进方案。并在改进Sawyer­Tower电路基础上， 结合虚拟仪器测量思想，组建以LabVIEW和NI公司数据采集卡为核心的软硬件平台测量系统，并结合Matlab对采集数据进行分 析处理，实现薄膜本征电滞回线的精确测量。经实验验证本测试系统可以快速准确完成薄膜电滞回线测量。 关键词: 电滞回线；铁电薄膜； 虚拟仪器； 测量 DesignoftheHysteresisMeasurementofFerroelectricThinFilmBasedonVirtualInstrument 1 1 2 1 ZHANGXiao­jun ，DONGWei­jie，LIUMeng­wei ，ZHANGPeng (1.DepartmentofElectronicEngineering,DalianUniversityofTechnology，Dalian116024，China; 2．SearchCenterforMCROSystem，DalianUniversityofTechnology，Dalian116024，China) Abstract: Due to the shortcoming of measuring method of the ferroelectric hysteresis loops based on the traditional Sawyer­Tower Circuit. The paper suggestsa method to improve Sawyer­TowerCircuit by charge integration in measuring hysteresis loop of ferroelectric thinfilm.The measurementsystemis realizedwiththe applicationofLabVIEWand NIPCI_6221.Accordingto thedefectofLabVIEWin complexnumericalanalysisandprocessing,themixedprogrambetweenLabVIEWandMatlabisdesignedinthesystem.Theresultsshow thatthissystemisveryefficient. Keywords:hysteresisloop;ferroelectricthinfilm;VirtualInstrument;measurement 中图分类号：TP274； O484.5 1 引言 量电路，反馈电压与激励电压分压的不足这一实际问 题，本文提出了改进意见，并结合计算机强大的功能， 铁电学是一门多学科交叉的学科，它涉及物理 设计了基于虚拟仪器的测量系统。 学、化学、机械、电子工程和信息科学等众多学科领 [1] 域 ，铁电薄膜材料具有优良的特性，使其在微电子 2 系统硬件设计 学、光电子学、集成光学和微机械学等领域有着重要 2.1 Sawyer­Tower电路电荷采集改进 的或潜在的应用，特别是可与半导体Si集成电路兼容