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基于镀膜玻璃微流控芯片制作工艺的研究-福州大学学报（自然科学版
( )
39 1 福州大学学报 自然科学版 Vol． 39 No． 1
第 卷第 期
2011 2 Journal of Fuzhou University (Natural Science Edition) Feb． 2011
年 月
【DOI 】CNKI :35 － 1117 / N． 17 18． 000 文章编号:1000 － 2243 (2011)01 － 0143 － 05
基于镀膜玻璃微流控芯片制作工艺的研究
1，2 1，2 1，2
王伟 ，王宗文 ，蔡建南
(1． ， ，
福州大学食品安全分析与检测技术教育部重点实验室 福建省食品安全分析与检测技术重点实验室
350002 ;2 ． ， 350108)
福建福州 福州大学化学化工学院 福建福州
: ， ， ．
摘要 开发了一种采用金属膜绿基玻璃作为芯片制作材料 在玻璃上旋涂光刻胶层 制作微流控芯片的工艺
， 、 、 、 、 、 ，
针对光刻胶层不耐刻蚀液腐蚀的特点 优化了涂胶 匀胶 预烘 曝光 显影 坚膜等制作工艺步骤 使得制作
． 36 m ， 150 m ，
工艺具有良好的稳定性 自制玻璃微流控芯片的通道深度可以达到 μ 宽度可以达到 μ 最大有效直
150 mm ， ． ， ．
线长度可达 芯片具有优良的性能 工艺的开发节约了实验资源 提高了芯片设计的灵活性和多样性
: ; ;
关键词 微流控芯片 光刻胶 镀膜玻璃
中图分类号:O657 ． 8 文献标识码:A
Study on fabrication technology of microfluidic chip with coated glass
WANG Wei1，2 ，WANG Zong － wen1，2 ，CAI Jian － nan1，2
(1． Ministry of Education Key Laboratory of Analysis and Detection for Food Safety ，Fujian Provincial Key
Laboratory of Analysis and Detection Technology for Food Safety ，Fuzhou ，Fujian 350002 ，China ;
2 ． College of Chemistry and Chemical Engineering ，Fuzhou Universit
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