电子与机械校准套件比较：校准方法和精度.PDF

国外电子测量技术 ·2003年第6期 计量与校准 电子与机械校准套件比较：校准方法和精度 DavidBlackham 安捷伦科技加州SantaRosa 摘 要：在传统上，矢量网络分析4~(VNA)的校准一直通过机械标准实现。这种校准过程可能会非常 麻烦，而且容易出错，但对精确测量必不可少。 业内已经设计出电子校准模块，使得VNA的校准较传统机械校准速度更快、更简单、更 容易。本文旨在阐述电子校准和机械校准之间的差异，以及这些差异对测量精度的影响。 关键词：VNA 校准方法 校准模块 简 介 VNA (矢量网络分析仪)校准套件要求两级性 能：套件级校准标准性能和VNA系统级校准套件 校准残余误差性能。残余误差规范是使用的校准标 准性能、VNA系统规范和校准方法的函数。校准套 件可以支持多种不同的校准方法。不同的VNA可 能会以不同的方式实现校准方法和校准标准定义。 一 般来说，机械VNA校准套件由下述标准件组成： 宁 L 图l两端口校准设备的简化示意图 雷 开路，短路／偏置短路，负载／滑动负载，适配 离疆露l 一 器；波导或同轴的精密偏置。 一～二1『，?垦离圈 这些校准套件可以支持的校准方法包括： 开路／短路／负载／通过(OSLT) 短路／偏置短路／负载／偏置负载／通过 一一_＼离意雪图霾l3 通过／反射或通过／反射／匹配(TRL／TRM)． 电子校准套件至少包括一个可以以电子方式把 审 各种阻抗状态连接到 VNA 的测试端 口上的模 块L2]。这些阻抗状态的特性存储在EEPROM (电 ～ 图2机械校准标准性能和VNA系统性能的关系 子可擦除程控只读存储器)中，VNA或PC控制器 可以读取EEPROM，以进行校准。不同的模块涵盖 配，以使TRL／TRM校准的误差达到最小。相反， 了不同的频率范围。使用的校准模块与开路／短路／ 短路和开路应在整个相应频率范围内尽可能接近 负载／通过方法或偏置短路／通过方法类似。安捷伦 180℃的相位差，以便在使用OSLT校准方法时最 PNA系列网络分析还支持使用ECal@模块进行未 大限度地降低校准误差。 知通过校准和外部理想通过校准。大多数ECale模 传统上，开路和短路的电气特性用器件的校准 块使用四种阻抗状态，计算VNA的系统误差项，降 系数描述。大多数VNA使用下述参数，计算校准 低校准误差。某些最新的超宽带模型，如 10MHz一 标准的响应： 67GHz模型，采用七种阻抗状态，改进校准精度。 偏置时延，偏置损耗，偏置Zo，最小频率，最 图1显示了具有四种反射阻抗状态和两种通过状态 大频率，同轴或波导， 的电子校准设备的简化方框图。 短路的CO，C1，C2，C3项， 机械校准套件