知识点4圆光栅位移传感器的工作原理.PPT

主讲：XXX 学校：XXX 项目十 光栅传感器在数控设备中的作用 工作原理：莫尔条纹技术 类型：(1) 直线莫尔条纹：条纹 ---直线 (2) 圆型莫尔条纹：条纹 --- 圆型 RENISHAW 圆光栅：角度分辨率为0.01″ 系统精度为± 0.7″ (a) 径向光栅 --- 圆弧形莫尔条纹 光栅：两块，径向刻线，栅距角相同，偏心叠合 条纹宽度不是定值，随位置不同而不同。 在位于偏心的垂直位置上，条纹近似垂直于栅线，称横向莫尔条纹 在沿着偏心方向上，条纹近似地平行于栅线，称纵向莫尔条纹 其他位置上上，称为斜向莫尔条纹 条纹：在不同区域栅线的交角不同，不同曲率半径圆弧 圆光栅传感器 光栅：两块完全相同，环形刻线，偏心叠合， (b) 切向光栅 --- 环形莫尔条纹 光栅：两块，切向刻线，切向相同，栅距角相同， 基圆半径不同，栅线面相对同心叠合， 条纹：是以光栅中心为圆心的同心圆簇， 宽度也不是定值，随位置不同而不同。 特点：具有全光栅平均效应，用于高精度角度测量和分度。 (c) 环形光栅 --- 辐射形莫尔条纹 条纹：近似直线并成辐射方向，称为辐射形莫尔条纹。 圆光栅传感器 原理：平行光源→码盘→ 光电元件→电信号输出 码盘：光学玻璃，透光/不透光→ 照相腐蚀 要求：分度准确（工艺）、阴暗交替边缘陡峭（工艺、材质） 光源：LED → 光学系统 → 平行光 → 投影精确 光电元件：硅光电池，光电晶体管 滞后 → 响应速度 码道：位数→每个码道对应一个光电元件→分辨率 角度分辨率：α=360o/2n n-码道数（位数） 组成：光源、码盘、光电元件 增加码道、增大码盘尺寸 → 有限 提高精度 光学细分 → 附加码道 绝对码光电编码器 测量电路： 编码码制： 十进制码 --- 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 二进制码 --- 0000 0001 0010 0011 0100 格 雷 码---循环码：相邻两数只有一位不同 每次只有一位变化→转换 放大 → 足够电平 ，驱动 整形 → 接近理想方波 细分 → 提高分辨率（光学+电路） 多位码同时动作→同步误差→错码 读数直观，不易电路处理 直观，易于后续电路和计算机处理 角度及角位移检测 角度 位置 二进制码 十进制码 格雷码 0.0 22.5 45.0 67.5 90.0 112.5 135.0 157.5 180.0 202.5 225.0 247.5 270.0 292.5 315.0 337.5 A B C D E F G H I J K L M N O p 0000 0001 0010 0011 0100 0101 0110 0111 1000 1001 1010 1011 1100 1101 1110 1111 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 0000 0001 0011 0010 0110 0111 0101 0100 1100 1101 1111 1110 1010 1011 1001 1000 4位绝对码光电编码器码制 角度及角位移检测 特点： 摩擦轮 编码器 小范围绝对位置测量---角度、直线位置 小范围位移、速度检测 结构简单、精度高、分辨率高，可靠性好， 应用： 例：直线 → 旋转 360o 直接数字量输出 --- 数字传感器， 绝对码 --- 绝对角位置传感器 测量范围有限（360o）， 速度不高（最高几千转/分），怕振动 --- 丢数 连接 --- 弹性连轴结 角度及角位移检测 结构： 与绝对编码器类似 码道：最外 --- 增量码道：透光扇形区→分辨率 中间 --- 辨向码道：错开半个扇形区 最内 --- 零位码道：透光狭缝→基准脉冲 应用：相对位置测量---角度、直线位置， 位移、速度测量 特点：结构简单、精度高、分辨率高，可靠性好， 脉冲数字输出，测量范围无限 速度不高（最高几千转/分） 怕振动 --- 丢数 增量码光电编码器 主讲：XXX 学校：XXX 项目十 光栅传感器在数控设备中的作用