掺杂氧化锌薄膜的最新进展-液晶与显示.PDF

第 卷 第 期 液 晶 与 显 示 ， ２４ ４ Ｖｏｌ．２４Ｎｏ．４ 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００９ ８ ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＬｉｕｉｄＣｒｓｔａｌｓａｎｄＤｉｓｌａｓ Ａｕ．２００９ ｑ ｙ ｐ ｙ ｇ 文章编号： （ ） １００７２７８０２００９０４０５２２０６ 掺杂氧化锌薄膜的最新进展  刘 波，赵小如 ，冯娴娴，刘 凯，赵 亮 　 　 　 （西北工业大学 理学院 应用物理系，陕西 西安 ， ： ） ７１００７２Ｅｍａｉｌｌｂｓｉｎａｃｈ １２６．ｃｏｍ 　 ｐ ＠ 摘 要：掺杂氧化锌（ ）薄膜是一种新型的透明导电氧化物（ ）材料，因有替代氧化铟 ＺｎＯ ＴＣＯ 　 锡（ ）的潜能而成为当今 材料中的研究热点，其优异的光学和电学性能使其在平板 ＩＴＯ ＴＣＯ 显示器、太阳能电池等光电器件中具有光明的应用前景。文章对 ＺｎＯ基半导体材料的结构 和性能进行了介绍，综述了近年来以 薄膜为基体的 型和 型掺杂的研究进展，并在此 ＺｎＯ ｎ ｐ 基础上对未来的发展方向进行了展望。 关 键 词：氧化锌；透明导电；电阻率；透过率 　 　 中图分类号： ＋ 文献标识码： ＴＮ３０４．２ １ Ａ 　　　 过 ８０％。近几年来，研究人员在以前的工作基础 １ 引 言 　 　　 ［ ］ 上又进行了一些新的尝试，如： １２ 通过 Ｄ．Ｒ．Ｓｈａｕ 是一种宽禁带的 型半导体材料，具有 在 薄膜的表面镀银以提高薄膜的电导率； ＺｎＯ ｎ ＺＡＯ ［ ］ 六角纤锌矿结构。每个 原子和最近邻的 个 １３研究了 ，发现薄膜在某个温 Ｚｎ ４