科荣半导体展推出HONEYWELL 侦测器.PDF

科榮半導體展推出 HONEYWELL 偵測器 科榮於 9 月 7 日至 9 日參加 2016 SEMICON TAIWAN ，展出所 代理 HONEYWELL 氣體偵測器的產品 。 試紙帶式手提氣體偵測器「SPM Flex 」也會在現場中展示；其 特點包括偵測反應速度快、靈敏度高、免校正、快速開機偵測、 有試紙帶反應證據、可儲存偵測濃度值、可安裝成固定式使用等 特性。內建超過 30 種以上的可量測氣體，只要選用適合的試紙 帶種類，即可利用內建的氣體校正資料，準確即時測出氣體濃度， 適合緊急應變、工安、廠務或設備人員查漏或監測使用。 同時也會展出新一代電化學式手提氣體偵測器 「Midas PGD 」， 延續前一代使用穩定的 Midas 機型為主體，提升客戶更高滿意 度。 另外更有偵測 VOC 有機氣體的光學式偵測器「RAEGuard2 PID 」； RAEGuard2 PID 是一款採用光離子檢測原理的有機氣體固定式 偵測器 ，採用了智慧化處理平台和數位化感測器技術，支援多種 量程和解析度，實現感測器離線標定和環境適應功能 ，可測的氣 體多達 200 種以上。 科榮與 HONEYWELL 擁有專業的服務團隊，科榮提供客戶氣體 偵測器之設計規劃、監控( 圖控) 、施工安裝等的統包服務，以及 24 小時 on call 叫修服務，提供最安心的保障。 還有 XwinSys 原廠 ，結合ED-XRF 及 3D 影像的檢測機台，可用 於半導體前段和後段的製程及故障分析，主要應用為元素成分分 析、薄膜厚度量測、 bumping 的成分及形貌、void in Copper pillar 等應用。另有 SELA 原廠 , 其最新推出之新機型 MC-10 , 具有高準確度, 低成本, 免維護之優點 。 及 Thermo Fisher Scientific 原廠之 X 射線光電子能譜儀(XPS) 可用在超薄氮化矽閘極氧化層上，監控氮含量和氮氧化矽(SiON) 膜厚和非晶矽膜堆疊在非晶碳膜上的膜厚。XPS 技術有利於晶圓 廠製程中判定化學鍵結和表面污染物狀況。XPS 技術的特性，亦 可用於工廠生產線上非破壞性的化學組成分析和鍵結狀態的分 析和膜厚的量測。 及 MSP 原廠, 生產微粒子晶圓/ 光罩表面灑粒系統 。