高分辨二次离子质谱超高真空样品台的研制资料.pdfVIP

第 37卷 第 5期 质 谱 学 报 Vol. 37 No. 5 2016年 9月 Journal of Chinese Mass Spectrom etry Society Sep. 2016 高分辨二次离子质谱超高真空样品台的研制 杨之青，刘敦一，房建国，S . W . C lem ent ，单 勤 (中国地质科学院地质研究所，北京离子探针中心，北 京 100037) 摘要 ：目前，微束类分析仪器的一次离子束斑越来越精细，直径已达到微米级甚至亚微米级，仪器真空度 也已达到稳定的超高真空水平，因此，亟需研制一种与之相匹配的高分辨样品台，提高在超高真空环境 下的分辨力及定位精度。新研制的样品台，通过置于真空腔体外部的高精度滑台驱动小型焊接波纹管 的伸缩传递三维运动，解决了大尺寸焊接波纹管表面放气及承受较大大气压力的问题；通过使用适用于 超高真空的材料和固体润滑、无动态密封，解决了高真空中摩擦偶件的润滑问题。实验数据表明：在 40 mm 行程范围内，运动平台三轴定位重复性为 0. 94 、1. 83 、0. 38 p m ，分辨力为0. 10 p m ，并已成功地应 用 在 1 .1 9 X 1 0 6 P a 超真空环境下。外置的高精度滑台不仅克服了真空电机在真空腔体内发热及绝缘 材料放气的问题，而且不需要引人任何电子电气元件及导线，不会在分析腔室内产生电磁干扰，行程不 受装置本身的限制。这些特性不仅可满足二次离子质谱仪的要求，也适用于具有高分辨、超高真空环 境 、无污染要求的其他分析测试仪器。 关键词：二次离子探针质谱 ; 三维样品台；超高真空；真空电机；固体润滑 中图分类号 ：〇657. 63; TH 843 文献标志码：A 文章编号 ：1004-2997(2016)05-0408-06 doi ：10. 7538/zpxb. 2016. 37. 05. 0408 Innovative High Resolution 3D Sample Stage in Ultra High Vacuum for SIMS Y A N G Z h i-q in g , L IU D u n -y i, F A N G Jia n -g u o , S TE V E C lem en t, S H A N Q in (B e ijin g S H R IM P Center , Institute o f Geology , Chinese Academe o f Geological Sciences-, B eijin g 100037, China) Abstract ：P rim a ry ion beam sp o t of m icrobeam an aly sis in stru m e n t is m ore and m ore fin e, and its d iam eter has reached m icron level and even sub m icron level. In s tru m e n t v acuum s have advanced to u ltra -h ig h le v e ls, and w hich have ex cellen t sta b ility . Th e re ­ fo re , it is u rg e n t to develop a kind of high reso lu tio n sam ple stag