粉末冶金产业技术创新战略联盟3d打印专业技术会第一届专家会议在渝召开咨询.pdfVIP

第45卷 第3期 材 料 工 程 V01．45No．3 类金刚石膜研究进展 ofDiamond—likeCarbonFilms Progress 瑜1，曾 陈1 陈青云h2，施凯敏2，苏敏华2，吕会议1，罗 (1西南科技大学核废物与环境安全国防重点学科实验室， CHEN Kai—rain2，SUMin-hua2， Qing—yunl～。SHI Chenl LYU Yul，ZENG Hui—yil，LUO (1 ect ofNationalDefenseforRadioactive KeySubjLaboratory WasteandEnvironmental ofScienceand Security，SouthwestUniversity ofCivil 621010，Sichuan，China；2 Engineering， Technology，Mianyang Department of of 999077，China) Engineering，TheUniversityHongKong，HongKong Faculty 摘要：类金刚石膜具有高硬度、高热导率、低摩擦因数、良好的耐磨性能和化学惰性等优异的物化性能，在热沉、微电子、 抗核加固、生物和汽车工业等领域具有重大的应用前景，近年来吸引了众多研究和关注。文章综述了类金刚石膜的研究 进展和膜的成核机理，展示了类金刚石的应用前景，为该材料的研究和工业化应用提供思路和参考。 关键词：类金刚石膜；成膜机理；结合力；摩擦性能 doi：i0．11868／j．issn．1001—4381．2015．000229 中图分类号：0484文献标识码：A 文章编号：1001—4381(2017)03—0119—10 had and suchas Abstract：Diamond—likecarbon(DLC)films manyuniqueoutstandingpropertieshigh friction andwear thermal hardness，excellentchemicalinertness，lowcoefficients conductivity，high coefficients．Theandcombinationswere forhe