一种触发型ESD电源钳位电路.pdfVIP

第2期 微 处 理 机 No.2 2期 . . 2017年4月 MICROPROCESSORS Apr. ，2017 一种触发型ESD电源钳位电路 李若飞 （中国电子科技集团公司第四十七研究所，沈阳 110032） 摘 要：ESD 电源钳位的应用始于20世纪90年代中期，到现在它已经成为半导体芯片设计及 ESD设计综合的典型应用。将ESD 电源钳位综合应用到半导体芯片结构中的发展已经成为ESD设 计规则的组成部分，同时也是ESD设计艺术的基本组成部分。在CMOS工艺中，MOSFET型ESD 电 源钳位在芯片设计中已经成为一种标准的ESD设计实现。触发型MOSFETESD 电源钳位电路能够 弥补栅极接地的NMOS（GGNMOS）在经受二次击穿时的ESD保护缺陷。 关键词：MOSFET工艺；ESD 电源钳位；RC触发ESD 电源钳位；ESD 电源钳位频率；电压触发 ESD 电源钳位；主/从ESD 系统 DOI：10.3969/j.issn.1002-2279.2017.02.005 中图分类号：TN402 文献标识码：A 文章编号：1002-2279-（2017）02-0019-03 ATrigger Circuitof ESDPowerClamp LiRuofei (The47thResearch Institute of ChinaElectronics TechnologyGroup Corporation,Shenyang110032,China) Abstract: ESDpower clamp isused in the middle of 1990s,and ithas become a typical application in the design of semiconductor chip and ESD. The ESD power clamp applied to the semiconductor structurehasbecomethe components of ESD design rules andESD design art. In CMOStechnology, ESD power clamp using MOSFET becomes a standard ESD realization. ESD power clamp using MOSFET trigger can help GGNMOSperform circuitprotect againstthe secondbreakdown shock. Key words: MOSFETtechnology; ESD (Electro-Static Discharge)power clamp; RCtrigger ESD po- wer clamp;ESDpower clampfrequency; Voltagetriggering ESDpower clamp; Master-slaveESDsystem ESD电流建立的额外电流环路，使得电流从ESD元 1 引 言 件向芯片的电源轨和地面流动。ESD电源钳位的存 在IC （集成电路）工业中，ESD（Electro-Static 在可以减少通过电流回路的阻抗，这样既提高轨到 Discharge