高熵合金氮化物薄膜被覆於超硬刀具表面制程之微结构与切削概要.PDFVIP

高熵合金氮化物薄膜被覆於超硬刀具表面製程之微結構與切削性 研究 張子欽 宋寰欣 林奕辰 陳威吉 國立勤益科技大學機械工程學系 摘要 (Magnetron Sputtering System)使用，其靶材將以 X 近年來，由於 3C 產品如印刷電路板等，為避 光繞射儀鑑定結構後，再與濺鍍後薄膜作比對分 免產品上的精密電路遭受污染，因此無法於產品加 析。分析TiVCrZrAlZr 薄膜之物理及化學性質並探 工時添加切削液降低刀工具及工件溫度，導致在高 討機械性質、熱氧化行為與微結構之關係， 深入探 速切削、重切削及工件溫度攀昇極快的加工環境 討其合金薄膜的特性，再分別以反應沉積氮化物和 下，易產生高溫而致使刀工具加速磨耗，降低其使 氧化物薄膜，進而在氬氣、氧氣及空氣氣氛下做後 用壽命，因而提高生產成本。為因應上述高速加工 熱處理，了解其薄膜隨溫度之物理及化學性質與微 所衍生之高溫加工環境 ，因此利用射頻磁控濺鍍系 結構變化。實驗流程圖如下： 統，首先於碳化鎢刀具及矽晶片基材上 ，沈積被覆 高熵合金鍍膜，其鍍膜厚度以射頻磁控濺鍍系統控 制在1-2m之間以研究TiVCrZrAlN高熵合金氮化 高熵合 金熔煉濺鍍靶 材製備 、基材試 片前處理 物鍍膜在碳化鎢基材上的附著性、耐磨耗性，並探 討薄膜微結構、以其製程條件分析 TiVCrZrAlN高 熵合金薄膜對碳化物刀具的附著性與熱穩定性，從 SEM 表面形貌觀察發現隨著氮氬百分比增加促使 TiVCrZrAl高熵合 金奈米硬質 薄膜鍍著 整個薄膜緻密性變好。使用高速主軸，在無潤滑切 削環境下以動態方式實際機械加工熱作模具鋼 SKD11 材料，由OM 與SEM顯微鏡的觀察下可看 銑削之表面型態 、表面 粗糙 高熵合 金奈米硬質 薄膜 性質及 度 、刃口 切削 性及切削高溫氧 出TiVCrZrAl氮化物薄膜的刀具進行高轉速與高 微結構分析1硬. 度及 殘留應力 化 分析2. CN轉C 速 ：1000rpm 、 進給的切削條件下切削阻力比未披覆薄膜的小，切 測試 、奈米壓痕2.XRD 、SEM 10000rpm 、50000rpm 。每刃進 分析 屑表面情況也較為 平順刀具壽命因此而延長。 給量 ：0.03-0.06mm 關鍵詞 ：高熵合金、熱穩定性、微結構、機械性質、 無潤滑切削 結果 分析與討論 1.前言 就刀工具的應用而言，由於工業上加工環 圖一、實驗流程圖 境高精密度、高速率、高壽命及低成本的使用要 求下，使得刀工具的性能及壽命要求日益提高； 2.1靶材製備 為此各類鍍膜不斷被研究開發出現，以解決現今 本實驗採用等莫耳之Ti 、V 、Cr 、Al 、Zr 五 業界所面臨的諸多困擾，高熵合金 (High-Entropy 種元素來配置五元 TiVCrZrAl高熵合金，各種元素 Alloys)是一嶄新的合金設計理念，以多元主成份