梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响.pdfVIP

第 26 卷 　第 2 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol. 26 　No. 2 2005 年 2 月 　　 CHIN ESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS 　　Feb. ,2005 梳齿的不平行对电容式微机械传感器 可靠工作范围的影响 1 ,2 2 1 ,2 董林玺 　车录锋 　王跃林 ( 1 浙江大学信息学院信电系 , 杭州　310027) (2 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室, 上海　200050) 摘要 : 分析了梳齿电容式传感器梳齿极板间的不平行在三种电容驱动下 ,对传感器的可靠工作范围的影响. 结果 表明梳齿电容在同样的电压驱动下 ,当电容极板间的倾斜角由 0 1°变到 0 5°时 ,单边电容结构和双边电容结构的 可靠工作范围变为电容极板完全平行时的 0 45 ,0 56. 对力平衡的双边梳齿电容结构 ,当倾斜角由 0 1°变到 0 15° 时 ,可靠工作范围分别变为原来的 0 925. 并针对 DRIE 工艺刻蚀梳齿的原理 ,讨论了改进方法. 关键词 : 电容式传感器; 惯性传感器 ; 可靠工作范围 ; 脉冲信号 EEACC : 2575 ; 7230 中图分类号: TN43 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : (2005) 1 　引言 微机械电容式传感器在工作过程中受到惯性 力 、机械力和测试信号所产生的静电力联合作用. 传 感器在工作时如果由于环境变化 ,如受到脉冲信号 的冲击 ,传感器的振子可能会被吸合而失效. 为了传 感器能够可靠工作 ,研究传感器受冲击的可持续时 间或最大可承受冲击幅值是必要的 ,Bao 等人用能 图 1 　电容式传感器的梳齿不平行效应的 SEM 照片 量法[1 ]研究了平行板传感器的受冲击情况. 但是用 Fig. 1 　SEM picture of the effect of nonparallel combs of ICP 工艺制作的高深宽比的梳齿式传感器 , 由于工 the capacitive microsensor 艺的原因 , 两个极板是不平行的 , 如图 1 所示. Tayd [2 ]等研究了微分电容式传感器中的非平行板 可以很容易地用 CCD 显微镜测量得到 ,所以梳齿的 效应对传感器灵敏度的影响 ,但没有分析其对传感 间距用顶端间距 d 计算 , 图 2 所示的电容极板单位 器可靠工作范围的影响 ,下面对该种情况进行分析. 面积上的电荷为 : 图2 所示为极板不平行的示意图. εεV 0 ( ) Qσ = α 1