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第 卷 第 期 半 导 体 学 报 年 月 光波导高速电光调制器的研究进展 黄庆忠 余金中 中国科学院半导体研究所 集成光电子国家重点联合实验室北京 摘要介绍了不同截面大小的 波导单模条件详细描述了几种降低传输损耗消除偏振 相关提高耦合效率的技术手段 分析比较了一种带有 电容结构和一种具有微环 结构的高速电光调制器其调制频率分别达到 和 关键词 单模条件传输损耗偏振相关耦合效率电光调制器 中图分类号 文献标识码 文章编号 光波导的单模条件 引言 大截面脊形波导的单模条件 光调制器是一种重要的有源器件它在光通信 和光计算领域有着广阔的应用前景 硅是中心对称 当波导中存在多个导模时各导模传播常数不 晶体一阶电光效应极其微弱虽然硅的热光系数较 同将会导致光波信号的畸变因此集成光路中的光 大但受自身导热性质的限制热光调制器的调制频 波导要求具有单模传输特性 等人基于模式 率无法超过 因此人们一度认为实现硅基高 匹配方法 通过数值计算和拟合得到了大截面矩 速调制是不可能的 然而 材料以它在成本制 形截面脊形波导单模工作时 三者所应