内装集成芯片的压电加速度传感器.pdfVIP

维普资讯 22 ☆ 开 发 应 用 机电一体化 1998．1 内装集成芯片的压电加速度传感器 A Piez0electricAccelerationSensorwithaBuih 2上 口 一 、 引 言 摘要： 综述 了具有低功耗、能简化 测量通道 压电加速度传感器作为一种能量转换型传感器，受被测对象推 和方便应用于集成化控制 币境 的 内装集成 动不要求外电源就能自生电信号，并具有很宽的可用频率、很宽动态 芯片压 电加速度传感嚣的形成原理和众 多 范围下的良好线性度 ，加上结构上无相对运动零件、体积小、寿命长 优点，着重分析 了使用时的一些特点，井介 及优良的精度保持性等优点，在振动测量和系统的状态监控中得 绍 7具有国际先进水平的 100系列 电压输 到广泛应用 。 出压 电加速度传感嚣和 61000型恒流 电压 在集成电路迅速发展的推动下，目前又出现了内装集成芯片的 泺的基本特点和挂术性能指标。 压电加速度传感器，将原来的高阻抗输出转换成低阻抗输出，从而排 除了因高阻抗输出引起的一系列使用要求和限制，并带来了低功耗、 关键词：内装电路 压电加速度计 能简化测量通道和便于集成化控制的前景，因而国外很多生产厂推 出系列的标准传感器，并配以可直接相联的后续分析仪器，为各种多 1愿‰ 通道的测量和监控系统提供了极大的方便。国内由于市场上没有国 Abstract： 产的这类传感器，进 口的价格又较难接受，所以一般使用较少，对它 Formingprincipleandadvantagesof 的了解也不多。本文将从原理和使用特点方面对其作一介绍。 apiezoelectric acceleration sensorwitha built—inchiparesummarized，whichisof 二、压 电加速度传感器的 low powerdissipation，easytousein in 阻抗变换 电路和实用要求 tegratedcontro1systemsandabletosim Dlify signalchannelformeasurement．Es— 压 电加速度传感器基于压 电元件的压 电效应，既可看作一个电 sentialfeaturesand specification ofthe 荷源，也可看作一个 电压源。由于要求极高的输出阻抗，不能直接与 seriesof100voltageoutputpiezoelectric 记录分析仪器相联 ，因而就有了两种形式的阻抗变换 电路 ，将传感器 accelerationsensorsandthetypeof61000 的高阻抗输出转换成低阻抗输出，其等效电路如图1所示。 constantcurrentvoltage source，both of which areofthe world advanced stan— dard，arestated． Keywords：built—incircuit；pjezoelectri