电火花机械复合磨削反应烧结SiC陶瓷的表面特征.pdfVIP

第 24卷 第 9期 光学 精密工程 Vo1．24 No．9 2016年 9月 OpticsandPrecisionEngineering Sept．2O16 文章编号 1004—924X(2016)09—2192～08 电火花机械复合磨削反应烧结SiC陶瓷的表面特征 饶小双 ，张飞虎 ，刘立飞 ，李 琛 (1．哈尔滨工业大学机电工程学院，黑龙江 哈尔滨 150001； 2．哈尔滨理工大学机电学院，黑龙江 哈尔滨 150001) 摘要 ：研究了基于电火花机械复合磨削技术加工的反应烧结碳化硅 (R Sic)陶瓷的表面特征。用 电火花机械复合磨削 (EDDG)、电火花磨削 (EDG)以及普通磨削(cG)三种方法加工 RB-SiC陶瓷，并采用激光共聚焦显微镜和扫描电子显微 镜对加工后的SiC陶瓷的表面粗糙度、表面形貌及微观裂纹进行测量和对 比试验，获得了RB-SiC陶瓷的EDDG加工特 性。实验显示 ：EDDG加工的RB-SiC陶瓷的表面粗糙