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微电子机械mems陀螺仪的原理和测试方法研究!.pdf
工艺与制造lPr。cessandFabricatl。n
EM
微电子机械M S陀螺仪的
原理和测试方法研究
钱鸣镝
(上海先进半导体制造股份有限公司，上海200233)
摘要：作者从原理出发，结合实际开发的产品，由浅入深，提供了微电容检测和Q值测试方案，
以及如何实现自动化测试。测试不仅能够检查裸芯片的性能是否符合要求，提前筛除不合格的产
品，还能监视工艺的变化而可能导致的参数变化。
关键词：微电子机械系统；MEMS；陀螺仪；微电容检测；Q值测试
中图分类号：TN407文献标识码：A文章编号：1 7)05—0072—06
674—2583(201
7
DOI：1O．1 674-2583．2017．05．01
93394．issn．1
中文引用格式：钱鸣镝．微电子机械MEMS陀螺仪的原理和测试方法研究[J】．集成电路应用，2017，
34(5)：72-77．
andTestofMEMS
Principle Gyroscope
QIAN
Mingdi
Semiconductor of
(Advanced ManufacturingCorporationShanghai，Shanghai200233，China．)
Abstract：Fromthe withtheactuaI Ofour
principle，combineddevelopmentproducts，the
paper
amicro detectionandvaluetest the to
provides capacitance Q program．andwayachieve
automated testcannot checkthe ofthebare whichiSlnline
testing．The only performancechip
withthe inadditiontosubstandard also
monitor
requirements，earlyscreening products，but
inthe andin
processparameters．
changes
word：microelectromechanical
Key capacitancedetection，
system，MEMS，gyroscope，micro
Qvaluetest
MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域同，所以封装成本很高，占整个成本的50％～90％。所
和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行以，如果在封装之前能先进行测试，初步筛选成品剔
器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、 除废品，就能极大的减少成本[9—1¨。
电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环
境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都 1微机械陀螺概述
有着十分广阔的应用前景Ll√J。 1．1微电子机械系统
微电子机械陀螺作为一种用来测量角速度和角
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