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微电子机械mems陀螺仪的原理和测试方法研究!.pdf
工艺与制造lPr。cessandFabricatl。n
EM
微电子机械M S陀螺仪的
原理和测试方法研究
钱鸣镝
(上海先进半导体制造股份有限公司,上海200233)
摘要:作者从原理出发,结合实际开发的产品,由浅入深,提供了微电容检测和Q值测试方案,
以及如何实现自动化测试。测试不仅能够检查裸芯片的性能是否符合要求,提前筛除不合格的产
品,还能监视工艺的变化而可能导致的参数变化。
关键词:微电子机械系统;MEMS;陀螺仪;微电容检测;Q值测试
中图分类号:TN407文献标识码:A文章编号:1 7)05—0072—06
674—2583(201
7
DOI:1O.1 674-2583.2017.05.01
93394.issn.1
中文引用格式:钱鸣镝.微电子机械MEMS陀螺仪的原理和测试方法研究[J】.集成电路应用,2017,
34(5):72-77.
andTestofMEMS
Principle Gyroscope
QIAN
Mingdi
Semiconductor of
(Advanced ManufacturingCorporationShanghai,Shanghai200233,China.)
Abstract:Fromthe withtheactuaI Ofour
principle,combineddevelopmentproducts,the
paper
amicro detectionandvaluetest the to
provides capacitance Q program.andwayachieve
automated testcannot checkthe ofthebare whichiSlnline
testing.The only performancechip
withthe inadditiontosubstandard also
monitor
requirements,earlyscreening products,but
inthe andin
processparameters.
changes
word:microelectromechanical
Key capacitancedetection,
system,MEMS,gyroscope,micro
Qvaluetest
MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域同,所以封装成本很高,占整个成本的50%~90%。所
和产业,采用MEMS技术制作的微传感器、微执行以,如果在封装之前能先进行测试,初步筛选成品剔
器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、 除废品,就能极大的减少成本[9—1¨。
电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环
境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都 1微机械陀螺概述
有着十分广阔的应用前景Ll√J。 1.1微电子机械系统
微电子机械陀螺作为一种用来测量角速度和角
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