双重膜厚监控在中远红外光学镀膜工艺中应用.pdfVIP

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2017-07-15 发布于安徽
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双重膜厚监控在中远红外光学镀膜工艺中应用.pdf

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第29卷第3期光学仪器 v01．29．No．3 2007年6月 OPrICALINSTRI7MENTS June，2007 文章编号：1005—5630(2007)03—0086—04 双重膜厚监控在中远红外光学镀膜工艺中的应用+ 曹一鸣，王小辉，卫红 (广州市光机电工程研究开发中心广东省现代控制与光机电技术公共实验室，广东广州510635) 摘要：为提高中远红外增透膜镀膜工艺中膜厚监控的精度，对石英晶振监控和光学极值法监控进行了对比研究，分析了两者的优缺点。通过对两种监控方法的结合，在镀膜工艺中应用一种新的薄膜厚度监控方法——双重监控法。该方法适合于监控中长波段红外光学薄膜的沉积，提高了膜厚监控的精度。关键词：双重监控；光学镀膜；膜厚监控中图分类号：0484 文献标识码：A of monitormodeinthe ofmid--IRandfar-—IR film Applicationduple deposition optical CAO Xiao-hui，WEI Yi—ruing，WANG Hong Researchand Centreof DevelopmentOptics-Mechanics—Electricity (Guangzhou Engineering， Public ofModern and ControlOptics—Mechanics-Electricity GuangdongLaboratory Technology，Guangzhou Abstract：For offilmmonitor inmid··IRandfar——IRreflection accuracy system improving reducing monitormodeand extremum modeare libration monitor process，quartzcrystal optical coating inthis andtheirmeritsanddrawbacksarediscussed．Anewfilmthicknessmonitor researched paper monitormodeis twomonitor monitorissuitedto mode—duple applicatedbycombining modes．Duple monitorthe ofmid—IRandfar—IR itcan offilmmonitor opticalfilm，andimprove deposition accuracy system．