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- 2017-07-15 发布于上海
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C(膜)Si(SiO,2)(纳米微粒)C(膜)夹层膜的结构及其光致发光性质分析
中文摘要
C(膜)/si(Si02)(纳米微粒)/C(膜)夹层膜
的结构及其光致发光性质研究
作 者:邱晓燕(98120)
指导教师:李建(教授)
研究专业:凝聚态物理
研究方向:纳米半导体发光材料
(西南师范大学物理系 重庆400715)
摘要
本文首先简要介绍了当前硅基发光材料的发展概况,研究了硅基发光材料常见
的几种光致发光理论模型。在比较综合硅基发光材料常见制备方法优缺点的基础
(膜)夹层膜。本文详细解释了夹层膜的制备方法和加热退火处理过程。用透射电
析,较全面地分析研究了样品的形态结构和物相成分。利用荧光分光光度计和激光
喇曼谱仪(LRS)研究了样品的光致发光(PL)特性和喇曼光谱特性,并从机理上进
行了初步探讨。
/在样品的制备方面主要取得了以下研究结果:
\在硅基发光材料常见的颗粒膜或多层膜结构基础上,设计出C(膜)/Si
光溅射法结合真空镀膜法制备出了夹层膜样品.实验证明,这种形似量子阱的结构
具有不同于其它硅基发光材料的独特的光致发光性质.
通过TEM、SEM、XRD和XPS全面研究夹层膜的形态结构发现:
50删.
主奎苎萋——
50℃加热后,膜表面微粒大小
(2)在400℃加热后,膜表面出现孔状结构:6
最均匀,结合最致密.
(3)由于遭到氧化,膜内微粒形成外壳为siO:,内核为Si的两相结构.在C
原子的还原作用和氧气的氧化作用的共同作用下,si0:/si的比值随加热温度的升高
而呈现交替变化:400℃时,c的还原作用占主导地位,si02几乎全部被还原成了
生成了不同于常见晶体结构的sic.
在样品的光致发光特性方面,主要研究结果如下:
5 98rlm
(1)在波长为20nm的紫外辐射激发下,刚制备出来的样品在3
(3.1
(3.44eV)附近的PL,肩峰.
(2)PL峰形状和峰位不随退火温度的变化而变化,但强度却随退火温度变
PL峰强度增加:650C后.PL峰强度又开始降低。
(3)PL峰形状和峰位不随激发波长的变化而变化,但随着激发波长的增加.
PL峰强度逐渐降低.
在样品的光致发光机理方面,取得以下研究结果:
(1)峰住在398nm(3.1
2eV)的宽带紫光PL】峰的光激发发生在SiO,微粒内
正比.
一空穴复合发光.
米微粒)/C(膜)夹层膜的方法是可行的,其膜夹微粒的结构使其具有其它硅基发
光材料不具有的紫光波段的光致发光特性。、/一一√、
关键词:c膜;Si(Si02)纳米微粒;光致发光
【
、/L
Abstracts
of
The onthe andPhotoluminescencc
Study Configuration
Particles)IC(f’ilm)
C(Film)/Si(SiO,J(Nanometer
120)
Qiu(98
Author..Xiaoyan
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