微芯片上半导体纳米结构的电化学构筑及电学测量分析初探.pdfVIP

摘要 摘要 纳米电子学是纳米科技的重要科学基础，将成为21世纪信息时代的科学 核心。纳米电子学的重要研究内容包括纳米结构的加工制造技术和具有量子效 应的电子器件的设计与开发。随着器件尺寸的减小，纳米电子器件将会出现一 些具有特征的基本现象，如电导量子化、库仑阻塞、负微分电阻、整流效应、 开关效应、量子相干效应等。纳米电子器件在结构上有一个共同的特点，即它 们都有一个尺寸在5-100nrrl之f日J的由半导体或会属纳米材料组成的“岛”， 岛被势垒所包围，以阻止电子的进出。纳米电子器件的制造通常被描述为遵循 传统的半导体微胆自机械加工技术(MEMS／NEMS)，将受到工艺精度和工作原 理方面物理极限的制约；后者是借助于自组装、化学、生物等多种技术，是目 前纳米科技领域中的一个新的研究热点，充满挑战和机遇。 本文主要围绕纳米电子器件结构的设计和制造问题，借助于电化学技术， 采取“自下而上”的路径，探索和发展在电极纳米间隔中构筑金属一半导体．余 属异质结纳米电子器件结构的方法，研究和测量其特有的量子效应、单电子效 应和开关效应等电学性能。主要研究结果如下： 1．电解质溶液的化学组成对Au电沉积层的表面形貌具有