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金属管件内壁栅极增强等离子体源离子注入的轴向特性研究！
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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金属管件内壁栅极增强等离子体源离子注入的
轴向特性研究!
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张谷令 王久丽 陈光良 冯文然 顾伟超
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牛二武 范松华 刘赤子 杨思泽
!）（中央民族大学物理与电子工程学院，北京 !$$$%!）
）（北京凝聚态物理国家重点实验室，中国科学院物理研究所，北京 !$$$%$ ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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栅极增强等离子体源离子注入（ ）一种新的金属管件内壁处理方法，该方法能够均匀地对金属管件内壁
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进行离子注入，并且能够生成二元金属化合物 在金属管件内轴向放置三块 号钢样品，利用 方法在金属
/ ( *+,-..
管件内壁成功生长金黄色氮化钛（ ）薄膜 结构分析显示 主要沿（ ）和（ ）晶面生长，深度分析显示膜的
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厚度大约二十几纳米，膜质地均匀且在基底有一定的嵌入深度 电化学腐蚀、硬度、磨擦学分析表明 薄膜很好
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地改善了( 号钢的表面性能，并且表现出很高的轴向均匀性/
关键词：等离子体源离子注入，内表面，氮化钛
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的薄膜还是存在与基底结合不牢的问题/ 国际上还
!F 引 言 有几个实验室正在做这方面的研究，但均不能彻底
［— ］
解决内部处理的均匀性以及牢固结合等问题)
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