导纳谱测量系统使用说明.PDF

Manual for Admittance Spectroscopy Measurement System 导纳谱测量系统使用说明 ZHU Hai 2008.5 目录 1. 量系统概述 2 2. LCR 表 3 2.a. 仪器 量功能 3 2.b. 主要 量参数控制 3 2.c. 仪器面板与连线4 2.d. 控制操作 6 3. 热电偶系统 8 3.a. 热电偶热电势 8 3.b. 本热电偶系统说明 10 4. 样品架装置与样品准备 15 4.a. 样品架的基本要求 15 4.b. 样品架的结构 15 4.c. 样品的 量准备 17 4.d. 样品的安装与温度设置 19 4.e. 样品架的基本维护 21 5. 量控制软件 24 5.a. 控软件概述 24 5.b. C-V 谱扫描设置 26 5.c. 导纳谱扫描设置 27 5.d. 量结果处理 29 Manual for Admittance Spectroscopy Measurement System by Z HU Hai 1. 量系统概述 实验目的为测量半导体低维量子结构的电导随温度变化，以推 算出样品的激活能。通过一系列测量可以分析出样品结构或者杂质缺 陷产生的深能级。 利用 实验基于特别设计定制的样品架装置， 液氮低温源使样品 温 度 能在一定范 围 内缓慢变化 ，利用 安装 了基于 GPIB （General-Purpose Interface Bus，通用接口总线，即IEEE 488 标准总 线）的控制器卡和相应控制程序的计算机同时 录下热电偶系统测量 ） 。 到的温度（电压信号 和 LCR 表测量到的电导值就可以得到导纳谱 导纳谱谱图可以在测量时通过控制程序的一个窗口看到，也可以 ） 。 “.dat ”的数据文件 （ASCII 码 形式保存 此数据文件可以直接被 ， Origin 或者 Excel 程序导入 采用单频或者多频测量分析方法拟合得 到样品激活能的值。 Manual for Admittance Spectroscopy Measurement System by Z HU Hai 2. LCR 表 2.a.仪器 量功能 实验系统主要采用 Agilent 公司的4284A 型精密 LCR 表。LCR 表基于自动平衡交流电桥的原理，能够测量任意二端网络的电阻、电 导、电容、电感、耗散因数、品质因数等参数。 实验需要用到电导 和电容的测量，4284A 型精密 LCR 表能够测量的电导值在 0.01nS 到 99.9999S 之间，电容值在 0.01fF 到9.99999F 之间，精确度一般可达 0.05%，并且以6 位数字分辨显示。本实验测量的样品都是半导体低 维量子结构，尽管电导、电容值都较小，此仪器精度 可以支持本实 验。 2.b.主要 量参数控制 实验系统中，我们使用4284A 的“C − G”功能测量样品的电 容、电导，同时需要控制外加直流偏压