光电检测技术——光电瞄准与定位系统.docVIP

第四章 光电瞄准与定位系统 §4-1 概述 一. 基本概念 瞄准：就是使被测物体或其上的特定标志与参考系中指定标志相重合。即指标（参考系中）与目标（被测物上）重合。 2 瞄准误差 △θ角度量（由线量△决定），△θ=△/R 3 对瞄准精度要求 ①精度高（误差小） ②效率高（快速） ③灵敏度高 4 分类 二 光学显微镜（线放大） 1）M== 《应用光学》P385~388 显微系统组合焦距 2）物方远心光路 采用物方远心光路，当物距有微小变化（A1B1移动到A1’B1’）主光线在分划板上的位置不变，则物体在分划板上成像大小不变，只是成像由清析到较模糊。（参见书上P35图4-8P35） 3）显微镜的瞄准精度 人眼的角分辨率 物 (mm) §4-2 光学瞄准法 一 对线法 见图4-2 P31 二实线重合，人眼对准精度 线端都对准 双线夹单线 （d）虚线对实线 二．重合法 度盘的偏心误差是影响它测量精度的重要因素 设度盘的刻画中心为o，旋转中心o’，偏心e，假设无偏心时（o与o’重合），指针转过角，对应弧长示值还是l格； 有偏心时，示值还是l格，而指针相应转过角。因此转角误差 弧度化秒系数 对径读数可消除偏心误差（两读数取平均值），在与处的误差相加可抵消： 采用重合法可将对径上的指标线成象到一个视场内，一次可得到对径的两个数 成象原理：在坐标系“Ⅰ”经直角棱镜1输出右手坐标系，再经直角等腰屋脊棱镜2，保持右手坐标不变。其俯视图见圆圈内，Ⅱ为对径指标。 见《应用光学》P78 三.双象法 四.互补色法 如图4-1-6所示，为品红色，为绿色，二种颜色重叠（与重叠）为黑色（双象法中的两个象重叠）。 五.反射法 工作原理：①当工件与光轴不重合时（图①）： 分划板3上的十字线A通过物镜与成象于,在工件6的镜面成象Ar；A’和Ar分别通过物镜7成象于分划板9上A”点和Ar”点。在视场中可见两个十字线（A” 和Ar”）和双划线（在分划板9上）及工件边缘反射面。 ②当工件与光轴重合时：（图②） 与成为一点，与重合；在视场中只看见双刻线夹一个十字线，且工件边缘与十字线重合。（书中图（b）有误） 瞄准精度： 是工件表面到光轴距离的两倍， =（把误差量光学放大为原来的两倍来测量） 而瞄准是按的象计算的，瞄准精度提高一倍，瞄准精度可达到0.2μm。 §4-3 光电显微镜瞄准系统 一.光度式 系统原理：刻尺线宽b经物镜成象=于狭缝面上，狭缝宽=，进入光电管的光通量与对的相对位置S成类似正弦函数的关系。在对准点有最小值 单管式测量精度不高：因刻线不一样，成象质量、电源电压波动，电子元件性能漂移，都会引起波动。此一时彼一时不一样。 解决办法： ①软件办法：对每条刻线的都求一次最小值（读最小值，以保证准确），对自动测量而言，软件编程量增加，测量速度变慢。 ②改用差动式 二.双管差动式 U=UB-UA 在O 点（瞄准点）为零，如果两条支路对称性较好则在瞄准点U=0 的误差很小，瞄准精度高，U(S)差值曲线斜率大，因而灵敏度高，对准精度达到。 狭缝A，B的宽度a=0.5mm ，光电管放不下，故采用右图结构形成，为B的象，原理同左图。 三、相位扫描式 1．结构： ①振镜式 让刻度象B在狭窄中心O附近振动 ②狭缝扫描式 刻线象不动，狭缝振动 2．特点 振幅 A=B 正弦振动 振动中心和狭缝中心重合 探测器上光电压 式中： k为比例系数 为光通量 ，E为光照度，S照射面积，为狭缝，l缝长 则 结论：通光狭缝宽以正弦变化，则光电压也以正弦变化，只是幅值不一样。 以狭缝中心O为运动振动坐标原点，刻线象在此坐标的位移函数为 当指标振动中心为O点（指标与光轴对准时），则 通光狭缝 设x的频率f ，U的频率加倍2f 但是周期相等 当指标振动中心偏离O点距离，指标中心的运动方程 刻线上偏 T1 T2 周期不等 T1≠ T2；频率有f、2f等。 刻线下偏T1 T2 3．信号处理 ①．时间比较法 T1=T2则瞄准了 ，T1≠ T2则没瞄准。 ②．波形分析法（振动50HZ） 傅式展开，包括100HZ，50HZ等，则没瞄准；只有100HZ则瞄准了。 2 被测件标志 （a） (b) （c） （d） 固定坐标系（光轴） xyzθ调准 ② 按原理分 光学瞄准 （光学显微镜） 机械瞄准 （游标卡尺，百分表） 电子瞄准 （电感式接近开关） 光、机、电组合型瞄准 （光学机械杠杆）光机型 （激光扫描） 光电型 （行程开关） 机电型 （光电灵